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주사 전자 현미경 안전 제어 시스템에 의해 수행되는 주사 전자 현미경 안전 제어 방법으로서,시료 전체에 대한 높이를 측정하여 상기 시료와 주사 전자 현미경 간의 거리를 충돌이 발생하지 않는 안전 거리로 설정하는 단계;상기 주사 전자 현미경의 전자총에 의해 전자빔을 상기 시료의 일 위치로 주사하는 단계;주사된 전자빔으로 인해 상기 시료의 일 위치로부터 방출된 방출 전자를 검측하는 단계;상기 방출 전자의 검측 값과 소정의 임계 값을 비교하는 단계; 및상기 방출 전자의 검측 값이 상기 소정의 임계 값 보다 큰 경우, 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 안전 거리로 재-설정하는 단계를 포함하며,상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 안전 거리로 재-설정하는 단계는, 상기 방출 전자의 검측 값이 상기 소정의 임계 값 보다 큰 경우, 상기 시료의 일 위치에 대한 높이를 재-측정하는 단계;상기 재-측정 높이에 기초하여 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 산출하는 단계; 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 상기 안전 거리와 비교하는 단계; 및상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리가 상기 안전 거리 미만인 경우, 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 안전 거리로 재-설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경 안전 제어 방법
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제1항에 있어서, 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리가 안전 거리로 재-설정된 이후, 상기 시료의 일 위치에 대한 관찰을 수행하는 단계를 더 포함하는 주사 전자 현미경 안전 제어 방법
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제1항에 있어서, 상기 안전 거리는 상기 주사 전자 현미경과 상기 시료의 거리가 50um인 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경 안전 제어 방법
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제1항에 있어서, 상기 방출 전자의 검측 값은 검측된 방출 전자의 세기인 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경 안전 제어 방법
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제1항에 있어서, 상기 방출 전자의 검측 값은 검측된 방출 전자의 변화량인 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경 안전 제어 방법
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제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 따른 주사 전자 현미경 안전 제어 방법을 실행하기 위한 컴퓨터 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능 기록매체
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진공 상태를 형성하는 경통, 상기 경통 내부에 위치하고 시료로 전자빔을 주사하는 전자총, 상기 경통의 진공 상태와 비진공 상태의 경통 외부 환경을 분리하고 상기 전자빔을 통과시키는 전자 투과막, 및 상기 시료로부터 방출되는 전자를 검측하는 검측기를 포함하는 주사 전자 현미경(Scanning Electronic Microscope, SEM); 상기 시료가 배치되는 시료 스테이지; 상기 시료와 상기 주사 전자 현미경의 거리를 측정하는 광학 측정기; 및 상기 검측된 방출 전자의 검측 값과 소정의 임계 값을 비교하고, 상기 검측된 방출 전자의 검측 값이 상기 소정의 임계 값 보다 큰 경우 상기 시료와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 안전 거리로 재-설정하도록 구성되는 제어부를 포함하며, 상기 제어부는,상기 방출 전자의 검측 값이 상기 소정의 임계 값 보다 큰 경우, 상기 시료의 일 위치에 대한 높이를 재-측정하고; 상기 재-측정 높이에 기초하여 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 산출하며; 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 상기 안전 거리와 비교하고; 그리고상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리가 상기 안전 거리 미만인 경우, 상기 시료의 일 위치와 상기 주사 전자 현미경 간의 거리를 안전 거리로 재-설정하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경 안전 제어 시스템
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제8항에 있어서, 광학 측정기는 공초점 현미경 및 간섭 현미경 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경 안전 제어 시스템
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