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메타물질 구조체의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019011452
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 메타물질 구조체의 제조 방법에 관한 것으로, 요철 패턴을 포함하는 스탬프 상에, 요철 패턴의 적어도 일부를 덮는 박막을 형성하는 것, 기판 상에 페이스트 조성물을 도포하는 것, 박막이 형성된 스탬프로 기판을 가압하여, 도포된 페이스트 조성물로부터 돌출 패턴들을 형성하는 것, 돌출 패턴들을 경화시키는 것 및 스탬프를 기판으로부터 분리하는 것을 포함하되, 스탬프의 분리 후 박막의 적어도 일부는 기판 상에 잔류되고, 잔류된 박막은 돌출 패턴들 및 돌출 패턴들 사이의 기판을 덮는 메타물질 구조체의 제조 방법이 제공된다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/203 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170034900 (2017.03.20)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0062317 (2018.06.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160160696   |   2016.11.29
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.19)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍성훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 김미현 대한민국 대전광역시 동구
3 남수지 대한민국 서울특별시 송파구
4 양용석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이명래 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0275659-28
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2020.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0292603-19
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0292602-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0134969-67
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0759304-95
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번호 청구항
1 1
요철 패턴을 포함하는 스탬프 상에, 상기 요철 패턴의 적어도 일부를 덮는 박막을 형성하는 것;기판 상에 페이스트 조성물을 도포하는 것;상기 박막이 형성된 상기 스탬프로 상기 기판을 가압하여, 상기 도포된 페이스트 조성물로부터 돌출 패턴들을 형성하는 것; 상기 돌출 패턴들을 경화시키는 것; 및상기 스탬프를 상기 기판으로부터 분리하는 것을 포함하되,상기 스탬프의 분리 후 상기 박막의 적어도 일부는 상기 기판 상에 잔류되고, 상기 잔류된 박막은 상기 돌출 패턴들 및 상기 돌출 패턴들 사이의 상기 기판을 덮는 메타물질 구조체의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 ETRI연구개발지원사업 차세대 고집적/고효율 유연 ICT 소자용 3D 창의 소재 원천 기술