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대형 코팅제품의 증착이 가능한 진공증착장치

  • 기술번호 : KST2019012025
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공증착장치에 있어서, 내부가 진공상태인 본체(2)를 구비되고, 본체(10) 내측의 상부에는 코팅제품(50)이 거치된 상태에서 좌우로 편심회전하는 회전부(20)가 설치되며, 본체(10) 내측의 하부에는 시료(41)의 승화방향을 조절하여 상부로 직진이동하는 시료(41)가 거치된 코팅제품(50)의 종류에 맞게 고르게 증착될 수 있도록 하는 회전체(40)가 설치되어 진공증착장치의 상부에 설치되는 회전원판(27)에 크기가 큰 코팅제품(50)을 거치한 상태에서 진공증착이 이루어질 수 있도록 함으로써 대형의 코팅제품(50)을 제조할 수 있는 효과가 있으며, 대형 코팅제품(50)의 진공증착시에도 제품의 품질이 우수한 효과가 있다.
Int. CL C23C 14/50 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01)
CPC C23C 14/505(2013.01) C23C 14/505(2013.01)
출원번호/일자 1020180115895 (2018.09.28)
출원인 (주)프라임광학, 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1958190-0000 (2019.03.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190314) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.28)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)프라임광학 대한민국 대구광역시 달서구
2 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽병두 대구광역시 달서구
2 김회경 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 참좋은 대한민국 대구광역시 달서구 호산로**, (주)공성*층(파호동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)프라임광학 대구광역시 달서구
2 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0960772-04
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0974616-62
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1052844-18
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1050578-21
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0750276-91
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-1108839-36
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1108840-83
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0774328-28
9 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2018.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-1165604-95
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0036481-84
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0036480-38
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0044033-86
13 보정요구서
Request for Amendment
2019.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0008901-51
14 등록결정서
Decision to grant
2019.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0080043-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
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진공증착장치에 있어서,내부가 진공상태인 본체(2)를 구비되고,본체(10) 내측의 상부에는 코팅제품(50)이 거치된 상태에서 좌우로 편심회전하는 회전부(20)가 설치되되,상기 회전부(20)는,본체(10) 상부에 설치되어 회전하는 중심판(21)과, 상기 중심판(21)의 가장자리에 결합되되 하부에 하단 회전축(24)이 결합된 편심회전기어(23)가 베어링에 의해 상대회전 가능하게 연결된 상단 회전축(22)과,본체(2) 상부에 고정되되 상기 편심회전기어(23)가 내접하여 맞물려 회전되도록 중심부에 원형의 고정기어(26)가 형성된 가이드판(25)과, 상기 하단 회전축(24)에 결합되되 코팅제품(50)이 거치되는 걸림턱(28)이 형성된 회전원판(27)으로 구성됨으로써,중심판(21)이 회전시 중심판(21)의 가장자리에 결합된 상단 회전축(22)은 중심판(21)의 중앙을 중심으로 공전하게 되고, 상기 공전하는 상단 회전축(22)에 상대회전가능하게 연결된 편심회전기어(23)는 상기 가이드판(25)에 형성된 고정기어(26)에 내접하여 맞물려 회전됨에 따라 중심판(21)의 회전방향과 반대방향으로 자전되게 되며 자전되는 상기 편심회전기어(23)와 결합된 하단 회전축(24)도 자전됨으로써 상기 하단 회전축(24)의 하부에 결합된 회전원판(27)은 본체를 중심으로 공전과 자전이 동시에 일어나며,본체(10) 내측의 하부에는 시료(41)의 승화방향을 조절하여 상부로 직진이동하는 시료(41)가 거치된 코팅제품(50)의 종류에 맞게 고르게 증착될 수 있도록 하는 회전체(40)가 설치되고,본체(10) 내측에는 시료(41)가 승화되어 본체(10) 상부로 직진 이동하는 것을 감지하여 시료(41)의 증발을 감지하여 증착이 이루어지고 있는 지를 감지하는 크리스탈센서와, 표면에 증착되는 시료(41)의 두께를 감지함으로써 코팅제품(50)에도 증착되는 두께를 확인할 수 있어 코팅제품(50)에 항상 균일한 두께로 증착이 되도록 감지하는 옵티컬센서로 구성된 센서(30)가 설치됨을 특징으로 하는 대형 코팅제품의 증착이 가능한 진공증착장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소벤처기업부 (주)프라임광학 산학연협력기술개발 디스플레이 노광기용 대면적 광학박막 밴드 패스 필터 공정 기술 개발