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(a) 구형의 금속분말 및 종횡비가 1을 초과하는 판상형 흑연분말을 준비하는 단계;(b) 상기 구형의 금속분말 및 상기 판상형 흑연분말만을 용기 내에 투입한 후 액상의 투입없이 상기 용기를 서로 다른 2축 이상의 회전축을 중심으로 회전 또는 진동시키는 공정만으로 상기 금속분말 및 흑연분말을 혼합하는 다축혼합방법으로 상기 금속분말 및 흑연분말을 건식 혼합하여 혼합분말을 준비하는 단계;(c) 상기 혼합분말을 가압하여 압분체를 제조하는 단계; 및 (d) 상기 압분체를 소결하는 단계;를 포함하고, 상기 (b) 단계의 혼합 전/후 혼합분말 크기의 중위값 변화가 3% 이하인, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (c) 단계는, (c-1) 상기 혼합분말의 일부를 몰드 내로 충진하는 단계;(c-2) 충진한 혼합분말을 몰드 내에서 일축방향으로 가압하여 부분 압분체를 제조하는 단계; 및 (c-3) 상기 부분 압분체 상에 상기 혼합분말의 일부를 다시 충진한 뒤 일축방향으로 가압하는 단계를 복수 회 반복하여 최종 압분체를 제조하는 단계를 포함하고,상기 (d) 단계에서의 압분체는 상기 최종 압분체인, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 (c)단계에서는 상기 흑연분말이 상기 가압하는 방향과 수직한 방향으로 이루는 각도의 절대값이 20°이하의 범위를 가지도록 제어되는 비율인 방향성 제어율이 70% 보다 더 큰 값을 가지도록 하는, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속분말은 Cu, Ag, Al, W, Ti, Mo, Au, Ni 또는 이들의 합금 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속분말의 크기는 1㎛ 내지 100㎛인, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 흑연분말은 표면에 금속피막이 형성된 것인, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 금속피막은 Cu, Ag 및 Ni 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는,메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 8 항에 있어서,금속피막을 형성하는 방법은 무전해도금, 전해도금, 물리증착법(PVD) 또는 화학증착법(CVD) 중 선택되는 어느 하나인, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 흑연분말의 크기가 1㎛ 내지 1000㎛ 이하인,메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속분말과 상기 흑연분말은 부피비로 3:7 내지 7:3으로 혼합되는, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 (c-1) 단계에서, 상기 몰드 내로 충진되는 혼합분말은 전체 혼합분말에 대해서 중량비가 0
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 일축방향으로 가압은 10MPa 내지 100MPa으로 수행하는,메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 소결하는 방법은 고온소결, 열간가압소결 및 통전가압소결 중에서 선택된 어느 하나인, 메탈 하이브리드 방열소재의 제조방법
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