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외부에서 인가되는 신호에 의해 길이가 변화되는 피에조 소자, 중간부에는 회전축이 연결되고, 상기 피에조 소자의 길이 변화에 대응하여 단부가 왕복 동작하는 동작 로드, 상기 동작 로드의 일단에 배치되어 상기 동작 로드의 동작에 따라 용액 공급부를 통한 용액 공급을 단속하는 태핏 및 상기 동작 로드의 타단으로 배치되어 상기 동작 로드에 탄성력을 인가하며 상기 동작 로드의 변위를 조정하는 변위 조정 스프링을 포함하는 피에조 펌프로서, 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 가속도 센서; 상기 가속도 센서에서 출력되는 신호가 나타내는 진동값과 기준값을 비교하고 비교 결과에 따른 제어 신호를 출력하는 제어부; 및상기 변위 조정 스프링의 단부에 배치되고, 상기 제어부에서 출력되는 제어 신호에 따라 길이가 변화되며 상기 변위 조정 스프링의 압축 정도를 조정하는 액츄에이터; 를 포함하는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 제어부에서 출력되는 신호에 의해 경고 신호를 출력하는 경고부를 더 포함하는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 피에조 소자의 길이 축소 시, 탄성력을 인가하여 상기 동작 로드가 원위치로 복귀되도록 하는 복원 스프링을 더 포함하는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 가속도 센서에서 측정된 진동값을 표시하여 사용자에게 알려주는 표시부를 더 포함하는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 기준값은, 상기 태핏의 단부와 일정 거리 이격된 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 정량 공급 시, 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 최소값인 제1 기준값과,상기 태핏의 단부와 일정 거리 이격된 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 정량 공급 시, 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 최대값인 제2 기준값과,상기 태핏의 단부와 일정 거리 이격된 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 공급 시, 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 공급량이 부족한 경우 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 진동값인 제3 기준값을 포함하는 피에조 펌프
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상하로 동작하는 피에조 소자에 의해 회전 동작하는 동작 로드의 일단으로는 용액을 공급하는 용액 공급부를 개폐하는 태핏이 배치되고, 상기 동작 로드의 타단으로는 액츄에이터에 의해 변위가 조정되는 변위 조정 스프링이 배치되는 피에조 펌프를 제어하는 방법으로서, 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동을 측정하는 측정 단계; 상기 측정 단계에서 측정된 진동과 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 제1 기준값과 비교하는 제1 비교 단계;상기 제1 비교 단계에서, 상기 진동이 상기 제1 기준값보다 작으면, 상기 변위 조정 스프링의 탄성이 커지도록 상기 액츄에이터의 길이를 연장하는 제1 조정 단계;상기 제1 비교 단계에서 상기 진동이 상기 제1 기준값보다 크거나 같으면, 상기 측정 단계에서 측정된 진동과 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 제2 기준값과 비교하는 제2 비교 단계;상기 제2 비교 단계에서, 상기 측정 단계에서 측정된 진동이 제2 기준값보다 크면 상기 측정 단계에서 측정된 진동과 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 제3 기준값과 비교하는 제3 비교 단계; 및상기 제3 비교 단계에서, 상기 진동이 상기 제3 기준값보다 작거나 같으면 상기 변위 조정 스프링의 탄성이 작아지도록 상기 액츄에이터의 길이를 축소하는 제2 조정 단계;를 포함하는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제6항에 있어서,측정되는 상기 진동의 정도를 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함하는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제6항에 있어서,상기 측정 단계에서 상기 용액 공급부 상의 진동이 측정되면, 상기 피에조 소자가 동작 중임을 판단하는 단계를 더 포함하는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제8항에 있어서,상기 피에조 소자가 동작 중임을 판단하는 단계는, 상기 피에조 소자에 대한 전원 인가 후, 가속도 센서에서 출력되는 신호가 나타내는 진동값과 기준값을 비교하고 비교 결과에 따른 제어 신호를 출력하는 제어부에서 상기 피에조 소자의 길이 변화에 대한 제어 신호 출력 여부에 의해 이루어지는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제9항에 있어서,상기 피에조 소자가 동작 중임을 판단하는 단계에서, 상기 피에조 소자의 동작이 감지되지 않으면 상기 피에조 펌프의 동작이 종료되는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제6항에 있어서,상기 제2 비교 단계는, 측정된 상기 진동이 상기 제2 기준값보다 작거나 같으면, 상기 측정 단계를 다시 수행하는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제6항에 있어서,측정된 상기 진동이 상기 제3 기준값보다 크면, 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 공급량이 정량보다 적은 것으로 판단하여 사용자에게 경고하고, 상기 용액 공급부를 통한 용액의 공급을 정지하는 단계를 더 포함하는 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제6항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 기준값은, 상기 태핏의 단부와 일정 거리 이격된 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 정량 공급 시, 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 최소값인 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제13항에 있어서,상기 제2 기준값은, 상기 태핏의 단부와 일정 거리 이격된 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 정량 공급 시, 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 최대값인 피에조 펌프 동작 제어 방법
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제14항에 있어서,상기 제3 기준값은, 상기 태핏의 단부와 일정 거리 이격된 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 공급 시, 상기 용액 공급부를 통한 상기 용액의 공급량이 부족한 경우 상기 용액 공급부 상에서 발생되는 진동의 진동값인 피에조 펌프 동작 제어 방법
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