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1
실린더형 오픈부를 포함하는 챔버;상기 챔버의 일측벽에 결합되어 상기 오픈부와 연결된 유입배관;상기 유입배관과 마주보도록 상기 챔버의 타측벽에 결합되어 상기 오픈부와 연결된 유출배관; 및상기 오픈부를 밀폐하도록 상기 챔버에 결합되고, 상기 유입배관과 마주보도록 형성되어 상기 유입배관 내 유체의 흐름에 관계없이 상기 오픈부 내부로 유입되는 유체의 흐름을 난류로 변환시키는 관통홀을 구비하는 센서를 포함하는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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2
제1항에 있어서, 상기 센서는,상기 챔버와 결합되어 상기 오픈부를 밀폐시키는 센서바디;상기 센서바디로부터 연장되고 상기 오픈부의 중심부에 위치하는 제1전극; 및상기 센서바디로부터 연장되고 상기 제1전극으로부터 이격되어 상기 제1전극의 측면을 둘러싸는 제2전극을 더 포함하고, 상기 관통홀은 상기 제2전극에 형성된 챔버 일체형 비저항 측정장치
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| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 제1전극은 상기 오픈부의 평면형상에 대응하는 평면형상을 갖는 기둥형태를 포함하고, 상기 제2전극은 상기 제1전극의 평면형상에 대응하는 평면형상을 갖는 링타입의 기둥형태를 포함하는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 센서바디를 기준으로 상기 제1전극의 길이보다 상기 제2전극의 길이가 더 긴 챔버 일체형 비저항 측정장치
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5
제2항에 있어서, 상기 제1전극의 저면 및 상기 제2전극의 저면은 상기 오픈부의 저면으로부터 이격되되, 상기 오픈부의 저면과 상기 제1전극의 저면 사이의 제1간격은 상기 오픈부의 저면과 상기 제2전극의 저면 사이의 제2간격과 동일하거나, 또는 더 큰 챔버 일체형 비저항 측정장치
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6
제1항에 있어서, 상기 챔버는, 상기 오픈부의 저면 및 측면을 제공하는 챔버바디;상기 유입배관과 상기 챔버바디 사이를 연결하는 제1연결부;상기 유출배관과 상기 챔버바디 사이를 연결하는 제2연결부; 및상기 센서와 상기 챔버바디 사이를 연결하는 제3연결부를 더 포함하는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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7
제6항에 있어서, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각은 상기 챔버바디로부터 분리 가능한 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각과 상기 챔버바디는 나사결합 형태를 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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8
제6항에 있어서, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각은 상기 챔버바디와 일체형일 수 있으며, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각은 상기 챔버바디에 다이렉트로 성형된 형태를 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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9
제6항에 있어서, 상기 제1연결부는 상기 오픈부에 접하여 제1직경을 갖는 제1영역 및 상기 유입배관의 직경에 대응하는 제2직경을 갖는 제2영역을 포함하고, 상기 제2연결부는 상기 오픈부에 접하여 제3직경을 갖는 제3영역 및 상기 유출배관의 직경에 대응하는 제4직경을 갖는 제4영역을 포함하며,상기 유입배관과 상기 제1연결부의 제2영역 및 상기 유출배관과 상기 제2연결부의 제4영역은 각각 나사결합 형태를 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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10
제9항에 있어서, 상기 제1직경은 상기 제2직경보다 작고, 상기 제3직경은 상기 제4직경보다 작은 챔버 일체형 비저항 측정장치
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11
제9항에 있어서, 상기 관통홀의 직경은 상기 제1직경보다 작은 챔버 일체형 비저항 측정장치
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12
제6항에 있어서, 상기 제3연결부와 상기 센서는 나사결합 형태를 갖고, 상기 제3연결부에 결합된 상기 센서의 위치에 따라 상기 관통홀의 위치를 조절할 수 있는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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13
실린더형 오픈부를 포함하는 챔버;상기 챔버의 일측벽에 결합되어 상기 오픈부와 연결된 유입배관;상기 유입배관과 마주보도록 상기 챔버의 타측벽에 결합되어 상기 오픈부와 연결된 유출배관; 및상기 오픈부를 밀폐하도록 상기 챔버에 결합되고, 상호 이격된 복수의 전극들을 구비한 센서를 포함하고, 상기 복수의 전극들 중 어느 하나의 전극은 상기 유입배관과 마주보도록 형성되어 상기 유입배관 내 유체의 흐름에 관계없이 상기 오픈부 내부로 유입되는 유체의 흐름을 난류로 변환시키는 제1관통홀 및 상기 유출배관과 마주보도록 형성된 제2관통홀을 포함하는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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14
제13항에 있어서, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 서로 마주보는 형태를 갖고, 상기 제1관통홀의 중심축과 상기 제2관통홀의 중심축은 서로 정렬되는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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15
제13항에 있어서, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 서로 동일한 평면형상 및 직경을 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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16
제13항에 있어서, 상기 센서는,상기 챔버와 결합되어 상기 오픈부를 밀폐시키는 센서바디;상기 센서바디로부터 연장되고 상기 오픈부의 중심부에 위치하는 제1전극; 및상기 센서바디로부터 연장되고 상기 제1전극으로부터 이격되어 상기 제1전극의 측면을 둘러싸는 제2전극을 포함하고, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀을 상기 제2전극에 형성된 챔버 일체형 비저항 측정장치
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17
제16항에 있어서, 상기 제1전극은 상기 오픈부의 평면형상에 대응하는 평면형상을 갖는 기둥형태를 포함하고, 상기 제2전극은 상기 제1전극의 평면형상에 대응하는 평면형상을 갖는 링타입의 기둥형태를 포함하는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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18
제16항에 있어서, 상기 센서바디를 기준으로 상기 제1전극의 길이보다 상기 제2전극의 길이가 더 긴 챔버 일체형 비저항 측정장치
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19
제16항에 있어서, 상기 제1전극의 저면 및 상기 제2전극의 저면은 상기 오픈부의 저면으로부터 이격되되, 상기 오픈부의 저면과 상기 제1전극의 저면 사이의 제1간격은 상기 오픈부의 저면과 상기 제2전극의 저면 사이의 제2간격과 동일하거나, 또는 더 큰 챔버 일체형 비저항 측정장치
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20
제13항에 있어서, 상기 챔버는, 상기 오픈부의 저면 및 측면을 제공하는 챔버바디;상기 유입배관과 상기 챔버바디 사이를 연결하는 제1연결부;상기 유출배관과 상기 챔버바디 사이를 연결하는 제2연결부; 및상기 센서와 상기 챔버바디 사이를 연결하는 제3연결부를 더 포함하는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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21
제20항에 있어서, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각은 상기 챔버바디로부터 분리 가능한 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각과 상기 챔버바디는 나사결합 형태를 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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22
제20항에 있어서, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각은 상기 챔버바디와 일체형일 수 있으며, 상기 제1연결부 내지 상기 제3연결부 각각은 상기 챔버바디에 다이렉트로 성형된 형태를 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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23
제20항에 있어서, 상기 제1연결부는 상기 오픈부에 접하여 제1직경을 갖는 제1영역 및 상기 유입배관의 직경에 대응하는 제2직경을 갖는 제2영역을 포함하고, 상기 제2연결부는 상기 오픈부에 접하여 제3직경을 갖는 제3영역 및 상기 유출배관의 직경에 대응하는 제4직경을 갖는 제4영역을 포함하며,상기 유입배관과 상기 제1연결부의 제2영역 및 상기 유출배관과 상기 제2연결부의 제4영역은 각각 나사결합 형태를 갖는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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제23항에 있어서, 상기 제1직경은 상기 제2직경보다 작고, 상기 제3직경은 상기 제4직경보다 작은 챔버 일체형 비저항 측정장치
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25
제23항에 있어서, 상기 제1관통홀의 직경은 상기 제1직경보다 작은 챔버 일체형 비저항 측정장치
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제20항에 있어서, 상기 제3연결부와 상기 센서는 나사결합 형태를 갖고, 상기 제3연결부에 결합된 상기 센서의 위치에 따라 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀의 위치를 조절할 수 있는 챔버 일체형 비저항 측정장치
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제1항 내지 제26항 중 어느 한 항에 따른 챔버 일체형 비저항 측정장치를 구비하는 초순수 생산공정의 실시간 수질 모니터링 방법에 있어서, 상기 챔버 일체형 비저항 측정장치로부터 유체의 비저항을 측정하여 비저항 로우 데이터를 생성하는 단계;상기 비저항 로우 데이터에 온도보정계수를 반영하여 온도-비저항 데이터를 생성하는 단계;상기 온도-비저항 데이터가 정규분포의 소정 범위를 벗어나는지 여부를 판별하는 단계; 상기 정규분포의 소정 범위를 벗어나는 상기 온도-비저항 데이터에 대한 노이즈 처리를 수행하는 단계;상기 온도-비저항 데이터에 대한 평활화를 진행하여 수질 데이터를 생성하는 단계; 및상기 비저항 로우 데이터, 상기 온도-비저항 데이터 및 상기 수질 데이터를 사용자에게 실시간으로 제공하는 단계를 포함하는 수질 모니터링 방법
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제27항에 있어서, 상기 온도-비저항 데이터가 정규분포의 소정 범위를 벗어나는지 여부를 판별하는 단계에서 상기 정규분포는, 상기 온도-비저항 데이터를 바탕으로 제1시간동안 측정된 복수개의 기초측정값에 대한 1차 통계처리를 진행하고, 상기 1차 통계처리 결과를 상기 제1시간당 수집된 하나의 측정값으로 간주하여 상기 제1시간보다 긴 제2시간동안 수집된 복수개의 상기 측정값에 대한 2차 통계처리를 진행하여 획득하는 수질 모니터링 방법
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제28항에 있어서, 상기 1차 통계처리는 상기 복수개의 기초측정값의 평균값을 구하는 방법을 포함할 수 있고, 상기 2차 통계처리는 상기 복수개의 측정값에 대한 표준정규분포를 구하는 방법을 포함하는 수질 모니터링 방법
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제27항에 있어서, 상기 온도-비저항 데이터가 정규분포의 소정 범위를 벗어나는지 여부를 판별하는 단계는, 상기 온도-비저항 데이터가 상기 정규분포 최저범위 이하인지 여부를 판별하고, 연속하여 상기 정규분포의 최대범위 이상인지 여부를 판별하는 것을 포함하고, 상기 최저범위 및 상기 최대범위의 설정은 상기 정규분포의 1배수 표준편차 또는 2배수 표준편차를 벗어나는 값으로 설정하는 수질 모니터링 방법
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제27항에 있어서, 상기 소정 범위를 벗어나는 상기 온도-비저항 데이터에 대한 노이즈 처리를 수행하는 단계는, 상기 정규분포의 1배수 표준편차 또는 2배수 표준편차를 벗어하는 데이터를 노이즈로 판단하고, 상기 노이즈에 대응하는 데이터를 배제하거나, 또는 상기 노이즈에 대응하는 데이터를 상기 정규분포 내 데이터 평균값으로 대체하는 수질 모니터링 방법
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제27항에 있어서, 상기 온도-비저항 데이터에 대한 평활화를 진행하여 수질 데이터를 생성하는 단계는, 이동평균, 지수가중이동평균 또는 칼만필터 중에서 선택된 어느 하나의 방법을 단독으로 적용하거나, 또는 둘 이상을 혼합하여 적용하는 수질 모니터링 방법
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