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광섬유 라인이 분기된, 분기 라인들 말단부에 패브리페로 간섭계를 포함하고,단부가 경사진 상기 패브리페로 간섭계의 구조물들이 대칭형으로 형성되어 지향성을 갖는 것을 특징으로 하는 광섬유 센서팁
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광신호를 송수신하기 위한 제1광커플러;상기 제1광커플러에 연결된 광섬유 라인이 분기된, 분기 라인들 말단부에 패브리페로 간섭계를 포함하고, 단부가 경사진 상기 패브리페로 간섭계의 구조물들이 대칭형으로 형성되어 지향성을 갖는 센서팁을 갖는 주센서;상기 광섬유 라인을 통해 상기 제1광커플러를 거쳐 들어오는, 상기 주센서가 수신하는 반사파에 대해, 광전변환하는 제1검출기; 및상기 제1검출기로부터 출력되는 신호를 처리하여 초음파 영상을 출력하기 위한 신호를 생성하는 신호처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제2항에 있어서,제2광커플러;패브리페로 간섭계 구조물들이 대칭형으로 형성되어 지향성을 갖는 센서팁을 갖는 보조센서;상기 제2광커플러와 상기 보조센서 사이에 포함된 광지연기; 및상기 광섬유 라인을 통해 상기 제2광커플러를 거쳐 들어오는, 상기 보조센서가 수신하는 반사파에 대해, 광전변환하는 제2검출기를 더 포함하고,상기 신호처리부는 제1검출기 및 상기 제2검출기로부터 출력되는 신호를 처리하여 초음파 영상을 출력하기 위한 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제3항에 있어서,상기 보조센서는 광신호의 위상이 속하는 위상 범위를 검출하며, 상기 주센서는 상기 위상 범위 내에서 광신호의 세부 위상을 검출하기 위한 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제2항에 있어서,상기 센서팁의 대칭형 경사진 패브리페로 간섭계 구조물들 각각은,클래딩에 의해 코어가 감싸진 광섬유 단부가 경사지게 형성되고, 상기 광섬유 단부 상에 광섬유 길이 방향으로, 서로 평행한 제1미러, 캐비티, 제2미러, 멤브레인이 순차 형성된 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제5항에 있어서,상기 대칭형 경사진 패브리페로 간섭계 구조물들 사이에 포함된 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제2항에 있어서,상기 센서팁의 대칭형 경사진 패브리페로 간섭계 구조물들 각각은,클래딩에 의해 코어가 감싸진 광섬유 단부가 광섬유 길이 방향에 수직하게 형성되고, 상기 광섬유 단부 상에 광섬유 길이 방향으로, 상기 광섬유 단부와 평행한 제1미러, 캐비티, 경사진 제2미러, 및 상기 제2미러에 평행한 멤브레인이 순차 형성된 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제7항에 있어서,상기 대칭형 경사진 패브리페로 간섭계 구조물들 사이에 포함된 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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제7항에 있어서,상기 제2미러와 상기 멤브레인의 경상 방향은, 대칭축 방향이 높게 또는 대칭축 방향이 낮게 경사진 것을 특징으로 하는 초음파 센서
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