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증착 소재에 대한 전구체 용액이 포함된 캐니스터;상기 캐니스터와 연결되어 상기 전구체 용액을 이송하는 이송수단;상기 이송수단으로부터 상기 전구체 용액을 일정 양 공급받아 수집하는 용기;상기 용기를 내부에 포함하고, 상기 용기에 수집된 전구체 용액의 점도를 측정하는 점도 측정기가 포함된 점도 진단 챔버;를 포함하여 구성되며,상기 용기는,샘플 홀더 상에 복수 개로 구현되고,상기 용기는,상기 전구체 용액을 수집하는 샘플링 용기 및 상기 점도 측정기를 세척하도록 세척액이 수용된 세척 용기가 구비된 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항에, 상기 이송수단은,이송파이프 및 상기 전구체 용액의 이송량을 제어하는 조절밸브로 구현되는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 2항에 있어서, 상기 이송파이프는,상기 캐니스터에서 복수 개로 분기되어 상기 용기에 전구체 용액을 이송시키는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 3항에 있어서, 상기 복수 개로 분기된 이송파이프는,전체 길이가 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 3항에 있어서, 상기 이송파이프는,가열수단에 의해 상기 이송파이프에 의해 이송되는 전구체 용액의 온도 균일성이 확보되도록 하는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 5항에 있어서, 상기 가열수단은,상기 이송파이프 전체를 가열하도록 히팅조(heating bath), 오븐(oven) 및 오일조(oil bath) 중 어느 하나 이상으로 구현되는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 2항에 있어서, 상기 이송파이프 내부에 캐리어 용액(carrier liquid) 또는 캐리어 가스(carrier gas)를 공급시켜, 상기 이송파이프 내부에 집적된 전구체 용액 물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 샘플 홀더는 원형의 판상으로 형성되며,상기 샘플 홀더 상에 상기 샘플링 용기 및 세척 용기가 원형으로 교대로 배치된 것을 특징으로하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 10항에 있어서, 상기 샘플 홀더는,회전이 가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 10항에 있어서, 상기 샘플 홀더는,상기 점도 측정기가 배치된 위치로 운반이 가능하도록 이송 스테이지 상에 구현되는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 12항에 있어서,상기 이송 스테이지는 방진 스테이지 상에 구현되는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 용기에 수집되는 전구체 용액의 양을 측정하기 위해 상기 용기 하부에 로드셀이 구비되는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 14항에 있어서, 상기 용기 상측에 게이트 또는 상기 이송수단의 말단부에 게이트 밸브가 더 구비되어, 상기 용기에 수집되어 측정된 전구체 용액의 양에 따라 상기 게이트 또는 게이트 밸브가 자동 또는 수동으로 작동되는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항에 있어서, 온도 컨트롤러에 의해 상기 용기에 수집된 전구체 용액의 온도를 상기 이송수단에 의해 공급되는 전구체 용액의 온도와 동일하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 점도 진단 챔버 내부에는,상기 전구체 용액이 수집된 용기의 외부 반출을 위해 상기 용기의 입구부를 캡핑하는 캡핑수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 점도 진단 챔버 내부는,진공 상태 또는 불활성 가스 분위기인 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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제 1항 내지 제 7항, 제 10항 내지 제 18항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템은,측정된 점도가 피드백되어 상기 전구체 용액의 불량 상태를 자동으로 진단하는 제어부가 구비된 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템
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