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겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정기를 이용한 미러면 측정 시스템에 있어서,상기 미러면의 설계형상(3) 및 상기 볼(2)이 상기 설계형상(3)과 접하는 서로 다른 다수개의 가상 접점인 목표접점(10)들의 3차원 좌표인 목표접점좌표(11) 정보를 입력받는 입력유닛(110);상기 목표접점좌표(11)의 수평좌표에서 상기 볼(2)이 하강하여 제1실제접점(20)에서 상기 미러면(1)과 상호 무부하 상태에서 접한 후, 상기 미러면(1)이 강체운동(rigid body motion, 5)으로 변위 된 변위 미러면(1-1)과 상기 볼(2)과의 접점인 제2실제접점(30)을 형성하는 볼-제어부(121) 및, 상기 제2실제접점(30)의 3차원 좌표인 제2실제접점좌표(31)를 산출하는 볼좌표산출부(122)를 포함하는 측정유닛(120);상기 목표접점좌표(11)와 상기 제2실제접점좌표(31) 사이의 변위인 실제변위(41)를 산출하고, 상기 제1실제접점(20)의 3차원 좌표인 제1실제접점좌표(21)와 상기 제2실제접점좌표(31) 사이의 변위인 이론변위(51)를 산출하되, 상기 이론변위(51)의 좌표성분은 상기 강체운동(5)을 만족하도록 설정하는 변위-산출유닛(130);서로 다른 상기 수평좌표에 따른 상기 실제변위(41) 및 상기 이론변위(51)의 차이를 누적하여 누적변위차(72)를 산출하는 변위차-산출유닛(140);상기 이론변위(51)를 구성하는 상기 좌표성분 각각을 변수로 하여, 상기 누적변위차(72)가 최소값이 되는 상기 이론변위(51)의 예상이론변위(52)를 산출하는 예상이론변위-산출유닛(150):및상기 예상이론변위(52)를 기반으로 하여 상기 제1실제접점좌표(21)의 예상접점좌표(22)를 산출하는 예상접점-산출유닛(160);을 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 설계형상(3) 또는 상기 미러면(1)의 형상은 비구면 방정식(aspheric equation)으로 표기되며,상기 수평좌표 성분으로 상기 비구면 방정식을 미분하여 산출한 기울기와 상기 볼(2)의 반경 정보를 기반으로 하여 상기 목표접점(10)들의 목표접점좌표(11)를 보정하는 볼-반경 보정부(170)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입의 볼 접촉식 3차원 측정 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 예상접점좌표(22)를 비구면 방정식에 피팅하여, 상기 미러면(1)의 형상을 산출하는 피팅유닛(180)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입의 볼 접촉식 3차원 측정 시스템
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제 3 항에 있어서, 상기 미러면(1) 형상과 상기 설계형상(3)을 함께 디스플레이하는 디스플레이유닛(190)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입의 볼 접촉식 3차원 측정 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 입력유닛(110)과, 상기 측정유닛(120)과, 상기 변위-산출유닛(130)과 상기 변위차-산출유닛(140)과 상기 예상이론변위-산출유닛(150) 및 상기 예상접점-산출유닛(160)중 적어도 하나 이상을 제어하여, 상기 예상접점좌표(22)를 반복적 산출하고, 반복측정된 다수개의 상기 예상접점좌표(22)를 중간값(median) 또는 평균값(average)를 포함하는 통계적 처리 방법으로 최적-예상접점좌표를 산출하는 최적값-산출유닛(200)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입의 볼 접촉식 3차원 측정 시스템
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제 1 항에 따른 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입의 볼 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법에 있어서, 입력부에서 상기 미러면의 설계형상을 기반으로 하여 상기 볼이 상기 설계형상과 접하는 서로 다른 다수개의 가상 접점인 목표접점들의 3차원 좌표인 목표접점좌표 정보를 입력받는 단계(S10);측정유닛에 구비되는 볼-제어부가, 상기 목표접점좌표의 수평좌표에서 상기 볼을 하강시켜 제1실제접점에서 상기 미러면과 상호 무부하 상태에서 접하는 단계(S20);상기 미러면(1)이 강체운동(rigid body motion, 5)으로 변위 된 변위 미러면(1-1)과 상기 볼의 접점인 제2실제접점을 형성하는 단계(S30);상기 측정유닛에 구비되는 볼좌표산출부가, 상기 제2실제접점의 3차원 좌표인 제2실제접점좌표를 산출하는 단계(S40);변위-산출유닛이, 상기 목표접점좌표와 상기 제2실제접점좌표 사이의 변위인 실제변위 및, 상기 제1실제접점의 3차원 좌표인 제1실제접점좌표와 상기 제2실제접점좌표 사이의 변위인 이론변위를 산출하는 단계(S50);변위차-산출유닛이, 서로 다른 상기 수평좌표에 따른 상기 실제변위 및 상기 이론변위의 차이를 누적하여 누적변위차를 산출하는 단계(S60);예상접점-산출유닛이 상기 제1실제접점좌표를 변수로 하여 상기 누적변위차를 편미분한 누적변위차-편미분값을 산출하는 단계(S70);예상이론변위-산출유닛이 상기 누적변위차가 최소가 되는 상기 이론변위의 예상이론변위를 산출하는 단계(S80); 및상기 예상이론변위를 기반으로 하여 상기 제1실제접점좌표의 예상접점좌표를 산출하는 단계(S90);를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 S10 단계는, 볼-반경 보정부가 비구면 방정식으로 표기된 상기 설계형상 또는 상기 미러면의 형상과 상기 볼의 반경 정보를 기반으로 하여 상기 목표접점들의 목표접점좌표를 보정하는 단계(S11);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법
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제 6 항에 있어서,피팅유닛이 상기 예상접점좌표를 비구면 방정식(aspheric equation)에 피팅하여 상기 미러면의 형상을 산출하는 단계(S100)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법
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제 8 항에 있어서,상기 S100 단계는,디스플레이유닛이 상기 미러면 형상과 상기 설계형상을 디스플레이하는 단계(101):를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법
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제 6 항에 있어서,최적값-산출유닛이,상기 측정유닛과, 상기 변위-산출유닛과 상기 변위차-산출유닛과, 예상이론변위-산출유닛 및 상기 예상접점-산출유닛중 적어도 하나 이상을 제어하여, 상기 예상접점좌표를 반복적 산출하고, 반복측정된 다수개의 상기 예상접점좌표을 기반으로 하여, 중간값(median) 또는 평균값(average)를 포함하는 통계적 처리 방법으로 최적-예상접점좌표를 산출하는 단계(S90):를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법
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제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 실행 가능한 명령들을 포함하는 컴퓨터 프로그램
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제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템의 작동 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 실행 가능한 명령들을 포함하는 컴퓨터 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
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