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주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치로,상기 장치는 상면부에 전자빔 경통으로부터 방출되는 전자빔이 입사하는 조리개(aperture)가 있고, 상기 조리개와 마주보는 하면부의 개구를 외부에서 기밀 봉합하는 진공유지판을 구비한 진공실; 상기 진공실 내부에 위치하는 전자검출기; 상기 진공실의 진공이 유지되도록 상기 진공유지판과 접하여 수평이동하고, 상기 조리개를 통과하여 시료에 입사하는 1차전자의 진행방향에 형성된 개구의 미리 정한 깊이에 시료거치 그리드면을 구비한 시료 홀더; 상기 시료 홀더의 시료거치 그리드면 하부에, 상부가 개방되고 하부는 형광발생부(Scintillator)로 폐쇄된 원통형의 2차전자 경로공간; 및상기 형광발생부에서 발생된 광을 검출하는 광검출부를 포함하고,상기 2차전자 경로공간의 원형 단면은 상기 개구보다 크며, 상기 형광발생부는 빛이 통과하도록 알루미늄 박막에 형광재료를 코팅하고, 상기 원통형의 2차전자 경로공간 재질은 금속인,주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치
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주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치로,상기 장치는 상면부에 전자빔 경통으로부터 방출되는 전자빔이 입사하는 조리개(aperture)가 있고, 상기 조리개와 마주보는 하면부의 구멍을 외부에서 기밀 봉합하는 진공유지판을 구비한 진공실;상기 진공실과 접하면서, 상기 진공실의 하면부와 평행하고 구멍이 뚫린 하면부를 상기 진공유지판으로 함께 기밀 봉합하는 제3 진공실;상기 진공실 내부에 위치하는 전자검출기; 및상기 진공실의 진공이 유지되도록 상기 진공유지판과 접하여 수평이동하고, 상기 조리개를 통과하여 시료에 입사하는 1차전자의 진행방향에 형성된 개구의 미리 정한 깊이에 시료거치 그리드면을 구비한 시료 홀더; 상기 시료 홀더의 시료거치 그리드면 하부에, 상부가 개방되고 하부는 형광발생부(Scintillator)로 폐쇄된 원통형의 2차전자 경로공간; 및상기 형광발생부에서 발생된 광을 검출하는 광검출부를 포함하고,상기 2차전자 경로공간의 원형 단면은 상기 개구보다 크며, 상기 형광발생부는 빛이 통과하도록 알루미늄 박막에 형광재료를 코팅하고, 상기 원통형의 2차전자 경로공간 재질은 금속인,주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 광검출부는 상기 형광발생부의 하단에 광필터를 더 구비하고,상기 광필터는 중심부에 개구부를 구비하여 광을 통과시키는 명시야용 광필터 또는 중심이 막힌 고리형상 개구부로 광을 통과시키는 암시야용 광필터인,주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 광검출부는 상기 형광발생부의 중심부에서 명시야 영상을 획득하고, 주변부에서 암시야 영상을 획득하도록 이동가능한,주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 광검출부는 광학렌즈를 포함하는 집광부 및 중심부에 개구부를 구비한 이색성 거울(Dichromic mirror)을 더 구비하고,상기 이색성 거울의 중심부를 통과하는 광은 명시야 영상으로, 상기 이색성 거울의 주변부에서 반사되는 광은 암시야 영상으로 구분하는,주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 전자검출기는 2차 전자 검출기이고,상기 광검출부는 광증폭기(PMT, Photo Multiplier Tube), CCD(charge-coupled device) 촬상소자, 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 영상센서인,주사투과현미경(STEM) 기능을 구비한 탈착가능 전자현미경용 시료실 장치
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제 1항 또는 제 2항의 시료실 장치를 포함하는,전자 현미경
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