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광촉매분말을 이용하여 기판에 광촉매 박막을 생성시키는 광촉매 박막제작장치에 있어서,일측에 기판이 배치되는 기판배치부;상기 광촉매분말이 일측에서 타측으로 이동하도록 내부공간이 형성되고, 타측에 분사홀이 형성되어, 상기 분사홀을 통해 상기 기판 상에 상기 광촉매분말이 분사되는 노즐부; 및 상기 노즐부의 내부공간과 연통되며, 상기 내부공간으로 상기 광촉매분말을 공급하는 광촉매분말공급부를 포함하고,내부에 상기 노즐부와 상기 기판배치부가 배치되는 적층공간이 형성된 챔버와, 상기 챔버의 적층공간과 연통되도록 구비되어 상기 챔버의 적층공간을 상기 광촉매분말의 입자의 크기에 대응하여 진공의 상태로 형성시키는 진공펌프와, 상기 진공펌프를 제어하는 진공센서와, 상기 챔버의 적층공간과 연통되도록 구비되고 상기 챔버와 상기 진공펌프사이에 구비되는 분말필터를 포함하는 진공부를 포함하며,상기 광촉매분말은, 흡수하는 파장이 상이한 광촉매분말들이 혼합된 혼합 광촉매분말인 광촉매 박막제작장치
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청구항 1에 있어서,상기 노즐부는,일측에서 타측으로 갈수록 상기 내부공간의 단면적이 좁아지거나, 좁아지다가 넓어지도록 형성되는 광촉매 박막제작장치
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청구항 1에 있어서,상기 광촉매분말공급부는,상기 광촉매분말을 공급받고, 내부에 수용공간이 형성되어 상기 광촉매분말을 수용하는 분말피스톤과,상기 분말피스톤의 일측에 구비되어 상기 수용공간과 연통되며 회전하도록 구비되는 브러쉬와,상기 브러쉬의 일측에 구비되어 상기 브러쉬로부터 상기 광촉매분말을 전달받고, 상기 광촉매분말을 상기 노즐부로 전달하는 전달부를 포함하는 광촉매 박막제작장치
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청구항 3에 있어서,상기 광촉매분말공급부는,상기 전달부의 일측에 구비되어, 상기 전달부에 공기를 주입시키는 공기주입부를 더 포함하는 광촉매 박막제작장치
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청구항 1에 있어서,상기 광촉매분말은,100nm이상 50μm이하의 크기를 가지는 광촉매분말을 공급하는 광촉매 박막제작장치
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청구항 8에 있어서,상기 혼합 광촉매분말은,WO3분말과 Fe2O3분말이 혼합된 광촉매 박막제작장치
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일측에 기판이 배치되는 기판배치부와, 광촉매분말이 일측에서 타측으로 이동하도록 내부공간이 형성되고 타측에 분사홀이 형성되어 상기 분사홀을 통해 상기 기판 상에 광촉매분말이 분사되는 노즐부와, 상기 노즐부의 내부공간과 연통되며 상기 내부공간으로 상기 광촉매분말을 공급하는 광촉매분말공급부를 포함하는 광촉매 박막제작장치를 이용하여 제작되는 광촉매 박막제작방법에 있어서, 상기 기판배치부의 일측에 기판을 배치시키는 기판배치단계;상기 광촉매분말공급부를 통하여 상기 광촉매분말을 상기 노즐부의 내부공간으로 이동시키는 광촉매분말공급단계; 상기 노즐부의 내부공간으로 이동된 광촉매분말을 상기 분사홀의 외측으로 분사시키는 광촉매분말 분사단계; 및상기 분사홀로부터 분사된 상기 광촉매분말이 상기 기판에 충돌됨으로써, 상기 기판 상에 상기 광촉매분말이 증착되어 광촉매 박막이 생성되는 광촉매박막증착단계를 포함하고,상기 기판배치단계는 상기 기판이 배치되는 챔버의 적층공간을 진공의 상태로 형성시키는 진공형성단계를 더 포함하며,상기 광촉매분말공급단계는 흡수하는 파장이 상이한 광촉매분말들이 혼합된 혼합 광촉매분말을 공급하는 광촉매 박막제작방법
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청구항 10에 있어서,상기 광촉매분말공급단계는,상기 광촉매분말과 공기가 함께 노즐부로 이동되도록 상기 광촉매분말공급부의 일측에서 공기를 주입시키는 공기주입단계를 더 포함하는 광촉매 박막제작방법
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청구항 10에 있어서,상기 광촉매분말은,100nm이상 50μm이하의 크기를 가지는 광촉매분말을 공급하는 광촉매 박막제작방법
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청구항 10에 있어서,상기 혼합 광촉매분말은, WO3분말과 Fe2O3분말이 혼합된 광촉매 박막제작방법
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