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상면, 하면 및 기 설정된 두께를 갖도록 형성되는 기판, 상기 상면의 일부 영역에 형성되는 RF 전극 및 상기 상면의 다른 일부 영역에 상기 RF 전극과 전기적으로 분리되어 형성되는 DC 전극을 포함하는 구조물과 외부의 DC 전원 사이를 전기적으로 연결하는 필터에 있어서,상기 상면에 형성되어 상기 DC 전극의 일부와 전기적으로 연결되는 커패시터; 및상기 구조물의 외부에 형성되어 상기 구조물과 전기적으로 연결되는 저항을 포함하고, 상기 커패시터의 정전용량값인 제 1 커패시턴스 및 상기 저항의 저항값인 제 1 저항값은 상기 RF 전극에 인가되는 기 설정된 주파수를 갖는 RF 입력전압, 상기 RF 입력전압에 의해 상기 DC 전극에 커플링되는 RF 결합전압, 상기 RF 전극과 상기 DC 전극 각각의 기생 커패시턴스 및 상기 RF 전극과 상기 DC 전극 사이의 상호 커패시턴스를 고려하여 상기 DC 전극에 발생하는 유도 전하량을 계산함으로써 설계되는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터
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제 1 항에 있어서,상기 DC 전극은 적어도 한 쌍의 내부 DC 전극과 적어도 한 쌍의 외부 DC 전극을 포함하며, 상기 제 1 커패시턴스 및 상기 제 1 저항값 각각은 상기 RF 결합전압에 의해 유발되어 상기 적어도 한 쌍의 내부 DC 전극과 상기 적어도 한 쌍의 외부 DC 전극 각각이 형성하는 전기장이 소정의 위치에서 서로 상쇄되도록 하는 값을 갖도록 설정되는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터
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상면, 하면 및 기 설정된 두께를 갖도록 형성되는 기판, 상기 상면의 일부 영역에 형성되는 RF 전극 및 상기 상면의 다른 일부 영역에 상기 RF 전극과 전기적으로 분리되어 형성되는 적어도 하나의 DC 전극을 포함하는 구조물과 외부의 DC 전원 사이를 전기적으로 연결하는 필터 설계방법에 있어서,상기 RF 전극에 인가되는 기 설정된 주파수를 갖는 RF 입력전압과 상기 RF 입력전압에 의해 상기 적어도 하나의 DC 전극에 커플링되는 RF 결합전압의 관계를 설정하고 계산하는 과정;상기 RF 결합전압에 의해 유발되어 상기 적어도 하나의 DC 전극이 발생시키는 적어도 하나의 전기장을 시뮬레이션하는 과정; 및상기 구조물 주변의 소정 위치에서 상기 적어도 하나의 전기장의 크기가 상쇄되도록 하는 필터의 값을 계산하는 과정을 포함하며, 상기 RF 결합전압의 관계를 설정하고 계산하는 과정은 상기 RF 전극 및 상기 적어도 하나의 DC 전극 각각의 기생 커패시턴스 및 상기 RF 전극과 상기 적어도 하나의 DC 전극 사이의 상호 커패시턴스를 고려하여 상기 적어도 하나의 DC 전극에 발생하는 유도 전하량을 계산하는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터 설계방법
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제 3 항에 있어서,상기 필터의 값을 계산하는 과정은,상기 소정 위치에서 상기 적어도 하나의 전기장의 크기와 위상을 계산하는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터 설계방법
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제 5 항에 있어서,상기 필터의 값을 계산하는 과정은,상기 RF결합전압의 값을 계산하기 위해 제 1 커패시턴스 값을 갖는 커패시터를 상기 적어도 하나의 DC 전극과 접지 사이에 연결되도록 상기 상면 또는 상기 하면 중 선택된 한 영역에 형성하는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터 설계 방법
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제 6 항에 있어서,상기 필터의 값을 계산하는 과정은,상기 구조물과 상기 외부의 DC 전원 사이에 제 1 저항값을 갖는 저항을 추가하고, 상기 제 1 저항값을 변화시켜 상기 적어도 하나의 전기장의 위상을 보정하는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터 설계방법
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제 3 항에 있어서,상기 적어도 하나의 DC 전극은 제 1 내부 DC 전극, 제 1 외부 DC 전극, 제 2 내부 DC 전극 및 제 2 외부 DC 전극을 포함하고, 상기 RF 전극은 제 1 RF 전극 및 제 2 RF 전극을 포함하며, 상기 제 1 RF 전극은 상기 제 1 내부 DC 전극과 상기 제 1 외부 DC 전극 사이에 형성되고, 상기 제 2 RF 전극은 상기 제 2 내부 DC 전극과 상기 제 2 외부 DC 전극 사이에 형성되며,상기 RF 결합전압의 관계를 설정하고 계산하는 과정은,상기 제 1 외부 DC 전극 및 상기 제 2 외부 DC 전극에 발생한 RF 결합전압인 외부 RF 결합전압과 상기 제 1 내부 DC 전극 및 상기 제 2 내부 DC 전극에 발생한 RF 결합전압인 내부 RF 결합전압 각각의 크기와 위상을 계산하는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터 설계방법
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제 8 항에 있어서,상기 필터의 값을 계산하는 과정은,상기 제 1 내부 DC 전극, 상기 제 2 내부 DC 전극, 상기 제 1 외부 DC 전극 및 상기 제 2 외부 DC 전극에 각각 제 1 내부 커패시턴스를 갖는 제 1 내부 커패시터, 제 2 내부 커패시턴스를 갖는 제 2 내부 커패시터, 제 1 외부 커패시턴스를 갖는 제 1 외부 커패시터 및 제 2 외부 커패시턴스를 갖는 제 2 외부 커패시터를 전기적으로 연결하고, 상기 제 1 내부 커패시턴스 및 상기 제 2 내부 커패시턴스가 동일한 제 1 값을 갖고, 상기 제 1 외부 커패시턴스와 제 2 외부 커패시턴스가 동일한 제 2 값을 갖도록 설정하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온트랩 장치를 위한 필터 설계방법
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