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유연 기판;상기 유연 기판 상에 형성된 열전체;상기 유연 기판 상에 형성되고 상기 열전체의 일단에 연결된 제1금속전극; 및상기 유연 기판 상에 형성되고, 상기 제1금속전극과 이격되어 상기 열전체의 다른 일단에 연결된 제2금속전극;을 포함하고,상기 열전체는 상기 제1금속전극과 한 지점에서 연결되는 제1연결부와 상기 제2금속전극과 이격된 두 지점에서 연결되는 제2연결부 및 제3연결부를 갖는 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 1항에 있어서,상기 제1금속전극, 상기 제2금속전극 및 상기 열전체 상에 형성되는 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 1항에 있어서,상기 제1금속전극, 상기 제2금속전극 및 상기 열전체 상에 형성되는 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 1항에 있어서,상기 제1연결부로부터 소정 간격을 두고 위치한 분기점에서 상기 열전체가 분기하여 상기 제2연결부 및 상기 제3연결부에서 연결되고, 상기 제2연결부 및 제3연결부는 이격되어 있으며, 상기 분기점에서부터 상기 제2연결부까지의 열전체 가지의 길이와 상기 분기점에서부터 상기 제3연결부까지의 열전체 가지의 길이가 상이한 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 4항에 있어서,상기 제1연결부로부터 소정 간격을 두고 위치한 분기점에서 상기 열전체가 분기하여 상기 제2연결부 및 상기 제3연결부에서 연결되고, 상기 제2연결부 및 제3연결부는 이격되어 있으며, 상기 분기점에서부터 상기 제2연결부까지의 열전체 가지의 길이와 상기 분기점에서부터 상기 제3연결부까지의 열전체 가지의 길이가 상이한 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 1항에 있어서,상기 제1연결부로부터 소정 간격을 두고 위치한 분기점에서 상기 열전체가 분기하여 상기 제2연결부 및 상기 제3연결부에서 연결되고, 상기 제2연결부 및 제3연결부는 이격되어 있으며, 상기 분기점으로부터 제2연결부 사이의 열전체 가지의 꺾임구조와 상기 분기점으로부터 제3연결부 사이의 열전체 가지의 꺾임구조가 서로 다른 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 4항에 있어서,상기 제1연결부로부터 소정 간격을 두고 위치한 분기점에서 상기 열전체가 분기하여 상기 제2연결부 및 상기 제3연결부에서 연결되고, 상기 제2연결부 및 제3연결부는 이격되어 있으며, 상기 분기점으로부터 제2연결부 사이의 열전체 가지의 꺾임구조와 상기 분기점으로부터 제3연결부 사이의 열전체 가지의 꺾임구조가 서로 다른 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 5항에 있어서,상기 열전체를 구성하는 열전소자는 비스무트 칼코게나이드계 화합물 또는 안티몬 칼코게나이드계 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 6항에 있어서,상기 열전체를 구성하는 열전소자는 비스무트 칼코게나이드계 화합물 또는 안티몬 칼코게나이드계 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 9항에 있어서,상기 열전체의 두께가 50nm 내지 1μm 사이인 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 10항에 있어서,상기 열전체의 두께가 50nm 내지 1μm 사이인 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 12항에 있어서,상기 보호층은 PMMA(poly methylmethacrylate), PS(polystyrene), 페놀계 고분자, 아크릴계 고분자, 폴리이미드(polyimide)와 같은 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계 고분자, p-자일리렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 파릴렌(parylene), 및 이들의 하나 이상을 포함하는 화합물로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 13항에 있어서,상기 보호층의 두께가 1μm 내지 50μm 사이인 것을 특징으로 하는 유연센서
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제 14항에 따른 유연센서 복수 개를 포함하며, 상기 복수 개의 유연센서의 각 열전체가 측정대상인 유체를 향하여 일부 또는 모두 노출되고, 상기 유연센서들은 병렬적으로 연결된 것을 특징으로 하는 유연센서 어레이
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