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산소 주입에 의한 CrAlSiON 층이 삽입된 고내식성 CrAlSiN 코팅막의 제조방법 및 그에 따른 다이캐스팅 금형

  • 기술번호 : KST2019013076
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 고경도 코팅막을 형성함에 있어, 장기간의 사용환경에도 불구하고 고경도 특성과 내부식 특성을 유지할 수 있는 새로운 코팅막의 구성과 그 제조방법을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라, 본 발명은, 고경도 코팅을 실시하고자 하는 모재에 CrAlSiN층을 PVD법에 의해 형성한 다음, CrAlSiON층을 동일한 PVD 챔버 내에서 oxygen 주입에 의해 형성하고, 다시 CrAlSiN 층을 PVD법으로 형성한 CrAlSiN/CrAlSiON/CrAlSiN 구조의 다층코팅막을 제공하였다. 즉, 기존의 PVD와 ALD를 동시에 활용하는 공정상의 시간 증대 및 오염 문제를 개선하고자 한 것이다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/32 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/35 (2006.01.01) C23C 14/00 (2018.01.01) C23C 28/04 (2006.01.01) B22D 17/22 (2006.01.01)
CPC C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01)
출원번호/일자 1020170183419 (2017.12.29)
출원인 (주)서영, 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0081103 (2019.07.09) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)서영 대한민국 부산광역시 강서구
2 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하태권 부산광역시 동래구
2 김동주 경상남도 김해시 율하*로 *
3 장경수 부산광역시 서구
4 권세훈 부산광역시 동래구
5 이우재 부산광역시 동래구
6 김다영 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)서영 대한민국 부산광역시 강서구
2 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-1308829-81
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0001068-80
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0013817-14
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0028499-27
5 보정요구서
Request for Amendment
2018.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0010688-88
6 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2018.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0058951-12
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2018-0039151-66
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0541976-20
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0794023-65
11 등록결정서
Decision to grant
2019.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0754045-89
12 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2019.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5034562-76
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모재의 경도, 내부식성, 내마모성 또는 화학적 안정성 중 어느 하나 이상의 물성 향상을 위한 코팅 막을 형성하는 방법에 있어서, CrAlSiN 층을 Cr, Al, Si를 포함하는 하나 이상의 타겟을 이용하여 N2 가스를 지속적으로 주입하며 PVD 법으로 일정시간 동안 CrAlSiN 층을 형성하고, 산소 가스를 주입하여 CrAlSiON층을 형성한 후, 산소 가스 주입을 멈춘 후 다시 CrAlSiN 층을 형성하여, CrAlSiN/CrAlSiON/CrAlSiN 층으로 다층 코팅막이 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅 막 형성방법
2 2
제1항에 있어서, 산소 가스 주입시간은 30초 내지 3분으로 하여 CrAlSiON 층의 두께는 10 내지 50 nm인 것을 특징으로 하는 코팅 막 형성방법
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제1항에 있어서, CrAlSiN 층 형성 시간은 30분 내지 1시간으로 하여 CrAlSiN 층은 두께가 0
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 코팅 막 형성방법으로 금형 표면에 CrAlSiN/CrAlSiON/CrAlSiN 다층 코팅막을 구비한 것을 특징으로 하는 금형
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소벤처기업부 ㈜서영 2016년 지역특화산업육성사업 Cr계 하이브리드 코팅막 적용을 통한 650Ton이하 다이캐스팅 금형의 수명 향상 최적화 기술개발