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대상물이 수납되는 수납부;플라즈마 또는 마이크로파를 발생시킬 수 있는 마이크로파 전력을 발생시키는 마그네트론(magnetron);상기 마이크로파 전력을 마이크로파로 변환하여 상기 수납부에 조사하도록 형성되는 도파관;상기 마이크로파 전력을 공급받고, 공급된 전력으로 플라즈마를 발생 및 발생된 플라즈마를 상기 수납부에 조사하는 플라즈마 발생부; 및,상기 마이크로파 전력이, 상기 플라즈마 발생부와 상기 도파관 중 어느 하나에 입력되도록, 상기 마그네트론의 마이크로파 전력 출력 경로를 스위칭하는 마이크로웨이브 전력 스위치를 포함하며,상기 마그네트론은,상기 마이크로파 전력이 출력되는 상기 전력 출력 경로를 복수개 포함하며,상기 복수개의 전력 출력 경로는, 상기 도파관과 상기 마그네트론 사이를 연결하는 제1 경로 및 상기 플라즈마 발생부와 상기 마그네트론 사이를 연결하는 제2 경로를 포함하고,플라즈마 발생이 선택되면 상기 스위칭에 따라 상기 마이크로파 전력이 상기 제2 경로를 통해 상기 플라즈마 발생부에 입력되어, 마이크로파의 발생 없이 상기 플라즈마 발생부에서 플라즈마가 바로 생성되도록 하고,마이크로파 발생이 선택되면 상기 스위칭에 따라 상기 마이크로파 전력이 상기 제1 경로를 통해 상기 도파관으로 입력되도록 하며,상기 플라즈마 발생부는,제1 전극층, 제2 전극층 및, 상기 제1 및 제2 전극층 사이에 구비되는 유전 장벽층을 구비하여 유전체 장벽 방전 방식(Dielectric Barrier Discharge)을 통해 상온 대기압에서 저온 플라즈마를 발생시키며,상기 유전 장벽층은,유전물질 층 위에 금속산화물 촉매 분말 또는 활성 탄소 분말이 코팅된 복합물질임을 특징으로 하는 전자렌지
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제1항에 있어서, 상기 플라즈마 발생부와 상기 수납부 사이에 설치되며 마이크로파의 투과를 차단할 수 있도록 형성되는 마이크로파 차단막을 더 포함하며, 상기 마이크로파 차단막은, 상기 플라즈마 발생부로부터 발생되는 플라즈마 및 상기 플라즈마의 발생과 함께 이온화된 이온 및 자외선이 투과할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전자렌지
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제2항에 있어서, 상기 마이크로파 차단막은, 일정 크기 이하의 구멍들이 천공된 형태를 갖는 금속판으로 형성되며, 상기 마이크로파 차단막에 형성된 천공 구멍의 크기는, 5mm 이하 직경을 가지는 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자렌지
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제3항에 있어서, 상기 플라즈마 발생부는, 유전 장벽층에 적층되며, 일정 간격으로 구멍들이 천공된 전극층을 포함하며, 상기 마이크로파 차단막의 각 천공 구멍은, 상기 전극층에 형성된 각 천공 구멍과 동축선 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 전자렌지
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제1항에 있어서, 상기 제1 전극층과 제2 전극층은,유전제 장벽 방전 전극인 전도성 금속박막으로 형성되며,상기 유전 장벽층은,0
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제1항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 전력 스위치는, 상기 마그네트론으로부터 생성된 마이크로파 전력이 출력되는 동축케이블을, 상기 플라즈마 발생부와 연결된 동축 케이블에 연결하거나 또는 상기 도파관과 연결된 동축 케이블에 연결하여 상기 출력 경로 스위칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 전자렌지
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제1항에 있어서, 상기 도파관과 연결되는 동축 케이블은, 기 설정된 커플링 어댑터를 통해 연결되며, 상기 동축 케이블을 통해 유입된 마이크로파 전력이 상기 커플링 어댑터를 통해 마이크로파로 변환되어 도파관으로 유입되는 것을 특징으로 하는 전자렌지
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