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수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치

  • 기술번호 : KST2019013271
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치에 관한 것으로, 페럴린 다이머 분말을 기화시키는 기화부와, 상기 기화부를 통해 기화된 페럴린 다이머를 열분해하여 페럴린 모노머를 생성하는 열분해부와, 상기 생성된 페럴린 모노머를 상기 열분해부로부터 제공받아 모재 상에 페럴린 성막 공정을 수행하여 페럴린 고분자막을 형성하는 성막부와, 상기 성막부로부터 배출되는 페럴린 모노머를 냉각하여 포집하는 냉각포집부와, 상기 성막부 및 냉각포집부의 사이에 구비되어 배출되는 페럴린 모노머에 포함된 수분을 제거하는 수분제거부를 포함함으로써, 수분이 제거된 페럴린 모노머를 효과적으로 냉각 및 포집할 수 있다.
Int. CL C23C 16/44 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01) B01D 53/26 (2006.01.01)
CPC C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01)
출원번호/일자 1020170182248 (2017.12.28)
출원인 한밭대학교 산학협력단, 주식회사 엠바디텍
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0080062 (2019.07.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 엠바디텍 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이화성 대전광역시 유성구
2 나광준 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인오암 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)
2 이성렬 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)
3 이성준 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)
4 이한욱 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1303665-28
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0236337-18
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036548-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
페럴린 다이머 분말을 기화시키는 기화부와,상기 기화부를 통해 기화된 페럴린 다이머를 열분해하여 페럴린 모노머를 생성하는 열분해부와,상기 생성된 페럴린 모노머를 상기 열분해부로부터 제공받아 모재 상에 페럴린 성막 공정을 수행하여 페럴린 고분자막을 형성하는 성막부와,상기 성막부로부터 배출되는 페럴린 모노머를 냉각하여 포집하는 냉각포집부와,상기 성막부 및 냉각포집부의 사이에 구비되어 배출되는 페럴린 모노머에 포함된 수분을 제거하는 수분제거부를 포함하는 수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치는,상기 성막부의 압력을 조절하는 진공부를 더 포함하는 수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 수분제거부는,원통형의 수분제거케이스와,상기 수분제거케이스의 상부에서 내부 바닥부로 관통 연장되는 유입관과,상기 수분제거케이스의 외주면에 구비되며, 상기 유입관을 통해 상기 내부 바닥부로 유입되는 상기 페럴린 모노머가 상승 이동하는 중에 상기 수분을 제거하는 히팅코일과,상기 수분제거케이스의 내부에 구비되며, 상기 페럴린 모노머가 상승 이동하는 중에 상기 페럴린 모노머에 포함된 불순물을 흡착 제거하는 흡착블록과,상기 수분 및 불순물이 제거된 상기 페럴린 모노머가 배출되는 배출관을 포함하는 수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 흡착블록은, 제올라이트를 이용하여 제조되는 수분 제거가 용이한 페럴린 성막 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한밭대학교 산학연협력기술개발 수분함유 대상물 코팅이 가능한 소형 페릴렌 코팅장비 개발