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가요성(可撓性, Flexibility) 광전소자 제작방법에 있어서,제1 기판 상에 제1 희생층 및 가요성 광전소자층을 성장시키는 제1 성장과정;제2 기판 상에 제2 희생층을 성장시키는 제2 성장과정;상기 제1 기판의 가요성 광전소자층 및 상기 제2 기판의 제2 희생층 상에 각각 전극을 형성하는 전극 형성과정;상기 제1 기판 및 상기 제2 기판에 형성된 각 전극을 결합(Bonding)하는 결합과정;상기 제1 희생층을 이용하여 상기 제1 기판과 상기 가요성 광전소자층을 분리하는 제1 분리과정;상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 직렬 또는 병렬로 연결하고, 상기 가요성 광전소자층 또는 상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 덮는 보호막을 형성하는 광전소자 생성과정; 및상기 제2 희생층을 이용하여 상기 제2 기판과 상기 제2 희생층 상에 형성된 전극을 분리하는 제2 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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제1항에 있어서,상기 제1 기판은,3족 또는 5족에 속하는 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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제1항에 있어서,상기 전극 형성과정은,상기 제2 희생층 상에 전극을 형성함에 있어, 상기 전극을 상기 제2 희생층을 온전히 덮도록 형성하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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제3항에 있어서,상기 제2 분리과정은,상기 제2 희생층을 온전히 덮도록 형성된 전극의 일부분을 제거함으로써, 상기 제2 희생층이 외부로 드러나도록 하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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제1항에 있어서,상기 광전소자 생성과정은,상기 보호막의 상단에 가요성 시트(Sheet)를 부착하여, 상기 가요성 광전소자층 또는 전극이 말리는(Rolling) 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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제1항에 있어서,상기 제1 분리과정 또는 상기 제2 분리과정은,불산(HF, Hydrofluoric acid)을 이용하여 상기 제1 희생층 또는 상기 제2 희생층을 제거함으로써, 상기 제1 기판과 상기 가요성 광전소자층 또는 상기 제2 기판과 상기 제2 희생층 상에 형성된 전극을 분리하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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가요성(可撓性, Flexible) 광전소자 제작방법에 있어서,3족 또는 5족 금속을 포함하는 제1 기판 상에 제1 희생층 및 가요성 광전소자층을 성장시키는 제1 성장과정;실리콘을 포함하는 제2 기판 상에 비소 화합물 버퍼층과 알루미늄 화합물 층을 포함하는 제2 희생층을 성장시키는 제2 성장과정;상기 제1 기판의 가요성 광전소자층 및 상기 제2 기판의 제2 희생층 상에 각각 전극을 형성하는 전극 형성과정;상기 제1 기판 및 상기 제2 기판에 형성된 각 전극을 결합(Bonding)하는 결합과정;상기 제1 희생층을 이용하여 상기 제1 기판과 상기 가요성 광전소자층을 분리하는 제1 분리과정;상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 직렬 또는 병렬로 연결하고, 상기 가요성 광전소자층 또는 상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 덮는 보호막을 형성하는 광전소자 생성과정; 및상기 제2 희생층을 이용하여 상기 제2 기판과 상기 제2 희생층 상에 형성된 전극을 분리하는 제2 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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가요성(可撓性, Flexible) 광전소자 제작방법에 있어서,3족 또는 5족 금속을 포함하는 제1 기판 상에 제1 희생층 및 가요성 광전소자층을 성장시키는 제1 성장과정;실리콘을 포함하는 제2 기판 상에 인 화합물, 비소 화합물 및 안티몬 화합물 중 일부 또는 전부로 구성된 버퍼층과 알루미늄, 비소 및 안티몬이 일정한 몰분율로 구성된 화합물 층을 포함하는 제2 희생층을 성장시키는 제2 성장과정;상기 제1 기판의 가요성 광전소자층 및 상기 제2 기판의 제2 희생층 상에 각각 전극을 형성하는 전극 형성과정;상기 제1 기판 및 상기 제2 기판에 형성된 각 전극을 결합(Bonding)하는 결합과정;상기 제1 희생층을 이용하여 상기 제1 기판과 상기 가요성 광전소자층을 분리하는 제1 분리과정;상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 직렬 또는 병렬로 연결하고, 상기 가요성 광전소자층 또는 상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 덮는 보호막을 형성하는 광전소자 생성과정; 및상기 제2 희생층을 이용하여 상기 제2 기판과 상기 제2 희생층 상에 형성된 전극을 분리하는 제2 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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가요성(可撓性, Flexible) 광전소자 제작방법에 있어서,3족 또는 5족 금속을 포함하는 제1 기판 상에 제1 희생층 및 가요성 광전소자층을 성장시키는 제1 성장과정;사파이어를 포함하는 제2 기판 상에 유전체 층을 포함하는 제2 희생층을 성장시키는 제2 성장과정;상기 제1 기판의 가요성 광전소자층 및 상기 제2 기판의 제2 희생층 상에 각각 전극을 형성하는 전극 형성과정;상기 제1 기판 및 상기 제2 기판에 형성된 각 전극을 결합(Bonding)하는 결합과정;상기 제1 희생층을 이용하여 상기 제1 기판과 상기 가요성 광전소자층을 분리하는 제1 분리과정;상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 직렬 또는 병렬로 연결하고, 상기 가요성 광전소자층 또는 상기 가요성 광전소자층 상에 형성된 전극을 덮는 보호막을 형성하는 광전소자 생성과정; 및상기 제2 희생층을 이용하여 상기 제2 기판과 상기 제2 희생층 상에 형성된 전극을 분리하는 제2 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 광전소자 제작방법
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