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탄화규소 단결정 성장 방법

  • 기술번호 : KST2019013746
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 탄화규소 단결정 성장 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 탄화규소 단결정 성장 방법은, 원료 물질 주입 단계를 행하기 전에 성장시키고자 하는 다형과 다른 다형의 침입을 방지하면서 탄화규소 단결정을 성장시킬 수 있도록 C/Si의 비율을 제어한다.
Int. CL C30B 23/00 (2006.01.01) C30B 23/06 (2006.01.01) C30B 29/36 (2006.01.01)
CPC C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01)
출원번호/일자 1020170180072 (2017.12.26)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-2035786-0000 (2019.10.17)
공개번호/일자 10-2019-0078250 (2019.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20191023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김장열 대한민국 경북 포항시 남구
2 은태희 대한민국 경북 포항시 남구
3 여임규 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 서한석 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1293400-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0012265-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0118674-36
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0395995-15
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0395996-50
8 등록결정서
Decision to grant
2019.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0544895-45
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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도가니, 종자정, 종자정 홀더, 및 가열수단을 포함하는 탄화규소 단결정 성장 장치를 이용하여 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법에 있어서,상기 도가니 내부에 원료 물질을 장입하는 원료 물질 장입 단계, 상기 종자정이 부착된 종자정 홀더를 탄화수소 단결정 성장 장치 내에 인입시켜 상기 도가니 내부의 상부에 장착하는 종자정 홀더 장착 단계, 상기 도가니를 가열하여 상기 도가니 내부에 포함된 불순물을 제거하는 불순물 제거 단계, 상기 도가니 내부에 불활성 가스를 주입하여 상기 도가니 내부에 남아 있는 공기를 제거하는 퍼징 단계, 상기 가열수단을 이용하여 상기 도가니를 단결정 성장 온도로 가열하여, 원료 물질을 승화시켜 단결정을 성장시키는 단결정 성장 단계, 및 상기 원료 물질 주입 단계를 행하기 전에, 성장시키고자 하는 다형과 다른 다형의 침입을 방지하면서 탄화규소 단결정을 성장시킬 수 있도록 C/Si의 비율을 제어하는 탄소와 규소 비율 제어 단계를 포함하고, 상기 탄소와 규소 비율 제어 단계는 원료 물질인 탄화규소(SiC) 분말에 탄소 분말을 첨가하여 탄소와 규소의 비율을 조절하고, 상기 탄소 분말 첨가 단계에서 탄소 분말은 탄화규소 분말의 중량 대비 5~10wt% 비율로 첨가되는 것인, 탄화규소 단결정 성장 방법
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삭제
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제1항에 있어서,상기 탄소 분말 첨가 단계에서 탄소 분말의 입자 크기는 5~20㎛ 범위로 설정되는 것인, 탄화규소 단결정 성장 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.