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각기 다른 원료냉매가 저장된 복수의 원료냉매실린더(100);상기 원료냉매실린더(100)와 제1고압밸브(210)를 통해 연결되고, 상기 원료냉매실린더(100)로부터 원료냉매를 공급받아 제2고압밸브(220)을 통해 연결된 냉매이송관(L)에 전달하며, 상기 냉매이송관(L)내부를 유동하는 상기 원료냉매가 액상으로 유지되도록 공급받은 원료냉매를 압축하는 시린지펌프(200);상기 냉매이송관(L)과 제3고압밸브(310)를 통해 연결되며, 상기 시린지펌프(200)로부터 전달되는 냉매가 충전되는 혼합냉매실린더(300); 및상기 혼합냉매실린더(300)의 하부에 구비되어, 상기 혼합냉매실린더(300) 내부에 충전되는 혼합냉매의 질량을 측정하기 위한 정밀저울(320);을 포함하되,상기 시린지펌프(200)는 개방된 상기 제1고압밸브(210)로부터 공급받은 원료냉매가 상기 냉매이송관(L)의 내부에서 액상을 유지할 수 있도록 압축시키고, 이후 상기 제2고압밸브(220)가 개방됨으로써 상기 압축된 원료냉매를 상기 냉매이송관(L)으로 공급하며,상기 제3고압밸브(310)는 상기 압축된 원료냉매가 상기 혼합냉매실린더(300)에 충전되도록 개폐가 조절되는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 혼합냉매 표준물질 제조장치는상기 제3고압밸브(310)와 상기 제2고압밸브(220) 사이에 구비되어, 상기 혼합냉매실린더(300)내부에 충전된 혼합냉매의 역류를 방지하기 위한 역류방지밸브(400);를 더 포함하되,상기 복수의 원료냉매실린더(100)는 각기 서로 다른 증기압을 갖는 원료냉매가 저장되고,상기 혼합냉매실린더(300)에 충전되는 상기 원료냉매는 증기압이 낮은 순으로 충전되는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 혼합냉매 표준물질 제조장치는상기 냉매이송관(L)상에 설치되어, 상기 냉매이송관(L) 내부에 잔류하는 상기 원료냉매를 분출시키기 위한 벤트밸브(500);를 더 포함하되,상기 시린지펌프(200)는,상기 혼합냉매실린더(300)에 충전된 하나의 원료냉매 이후에 충전되는 다른 하나의 원료냉매를 상기 벤트밸브(500)를 통해 분출시켜, 상기 냉매이송관(L)내에 상기 다른 하나의 원료냉매의 진공압 이상의 압력을 인가하는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조장치
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제3항에 있어서, 상기 혼합냉매 표준물질 제조장치는상기 냉매이송관(L)상에 설치되어, 상기 제2고압밸브(220)의 개폐에 따른 맥동 및 상기 냉매이송관(L) 내부유동에 의한 진동을 억제시켜 상기 정밀저울(320)에서의 오차를 저감시키는 유연튜브(600);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조장치
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시린지펌프를 이용하여 복수의 원료냉매실린더에 각기 저장된 서로 다른 원료냉매를 하나의 혼합냉매실린더에 충전하여 혼합냉매 표준물질을 제조하는 방법에 있어서,어느 하나의 원료냉매실린더(110)에 고압의 액체상으로 충전되어 있는 원료냉매를 가스상으로 변하지 않도록 상기 시린지펌프(200)를 사용하여 상기 혼합냉매실린더(300)에 충전하는 냉매충전단계(S100);상기 냉매충전단계 이후, 상기 시린지펌프(200)와 혼합냉매실린더(300)를 연결하는 냉매이송관(L)상에 설치된 벤트밸브(500)를 조작하여, 상기 냉매이송관(L) 내부의 잔류물을 외부로 배출시키는 냉매분출단계(S200);다른 하나의 원료냉매실린더(120)에 고압의 액체상으로 충전되어 있는 다른 하나 원료냉매를 가스상으로 변하지 않도록 고압의 상기 시린지펌프(200)를 사용하여 상기 혼합냉매실린더(300)에 충전하는 냉매혼합단계(S300); 및상기 냉매혼합단계 이후, 상기 혼합냉매실린더(300)에 충전된 복수의 원료냉매를 일정시간 교반하는 혼합냉매교반단계(S400);를 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 냉매충전단계(S100) 및 냉매혼합(S300)단계에서,상기 혼합냉매실린더(300) 하부에 구비된 정밀저울(320)을 이용하여, 상기 혼합냉매실린더(300)에 충전된 원료냉매의 질량을 측정하는 냉매측정단계(S110, S120);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 혼합냉매 교반단계(S400) 이후,상기 냉매측정단계(S110, S120)에서 측정한 상기 원료냉매의 질량의 비와 상기 혼합냉매 교반단계(S400)이후 분석한 원료냉매의 질량의 비를 비교하여 충전된 상기 혼합냉매의 신뢰성을 검증하는 혼합냉매표준물질 검증단계(S500);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 냉매충전단계(S100) 및 냉매혼합단계(S300)에서,상기 혼합냉매실린더(300)에 충전되는 상기 원료냉매는 증기압이 낮은 순으로 충전되는 것을 특징으로 하는 혼합냉매 표준물질 제조방법
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