맞춤기술찾기

이전대상기술

선택적 젖음성을 이용한 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2019014030
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다수의 메틸기 리간드를 포함하여 소수성을 띄는 PDMS로 기판을 형성하고, PDMS 기판을 타겟 기판에 스탬핑하는 간단한 공정으로 타겟 기판의 표면 성질을 개질하여 패터닝함으로써, 패터닝 공정을 단순화하고 패터닝에 소요되는 시간과 비용을 감축할 수 있도록 한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) H01L 21/033 (2006.01.01) H01L 27/12 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020180024175 (2018.02.28)
출원인 충북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2000034-0000 (2019.07.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.28)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정재욱 충북 청주시 서원구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 신명빌딩)(한맥국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 충청북도 청주시 서원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0205556-95
2 공지예외적용주장 증명서류 제출기한 안내문
2018.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0035002-18
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0227579-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2018-5086612-26
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0008971-68
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0070937-35
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0301175-67
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0301174-11
10 등록결정서
Decision to grant
2019.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0487736-23
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149268-82
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
PDMS 기판을 타겟 기판에 스탬핑하여, 상기 PDMS 기판에 포함된 메틸기(CH3) 리간드가 상기 타겟 기판에 전사되도록 하는 단계;상기 메틸기(CH3) 리간드가 전사된 상기 타겟 기판 상부에 소정의 패턴이 새겨진 쉐도우 마스크를 배치하는 단계; 상기 쉐도우 마스크가 상부에 배치된 상기 타겟 기판에 대하여 산소 플라즈마 처리를 수행하는 단계; 및상기 타겟 기판에 패터닝 용액을 도포하는 단계를 포함하는 선택적 젖음성을 이용한 패터닝 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 PDMS 기판은 복수 회 재사용 가능한 것을 특징으로 하는 선택적 젖음성을 이용한 패터닝 방법
4 4
제 1항 또는 제3항에 있어서,상기 타겟 기판에는 인쇄 전자 회로 또는 디스플레이 회로가 패터닝되는 것을 특징으로 하는 선택적 젖음성을 이용한 패터닝 방법
5 5
제 1항 또는 제3항에 있어서,상기 타겟 기판상에 도포되는 패터닝 용액은 반도체 용액 또는 금속 용액인 것을 특징으로 하는 선택적 젖음성을 이용한 패터닝 방법
6 6
타겟 기판 표면을 개질하기 위하여, PDMS 기판을 상기 타겟 기판에 스탬핑하여, 상기 PDMS 기판에 포함된 메틸기(CH3) 리간드가 상기 타겟 기판에 전사되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면의 개질 방법
7 7
삭제
8 8
제 6항에 있어서,상기 PDMS 기판은 복수 회 재사용가능한 것을 특징으로 하는 기판 표면의 개질 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 충북대학교 산학협력단 이공학개인기초연구지원사업 스트레처블 산화물 박막 트랜지스터 및 회로기술 개발
2 과학기술정보통신부 충북대학교 산학협력단 대학 ICT 연구센터육성 지원사업 홀로그램 융합기술 개발