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유전장벽방전용 실리콘-코팅 유전-필름

  • 기술번호 : KST2019014135
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 부식에 강한 유전장벽방전용 유전필름의 제공이다. 폴리머재의 필름 위에 실리콘재를 도포하여 플라즈마 부식에 강하고 기타 화학 용재에도 강한 유연한 박형의 유전필름을 제공한다.
Int. CL H05H 1/24 (2006.01.01) H01B 3/46 (2006.01.01)
CPC H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01)
출원번호/일자 1020180004509 (2018.01.12)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0086233 (2019.07.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.12)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조 광섭 서울특별시 서초구
2 김 윤중 서울특별시 광진구
3 김 중길 강원도 원주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0040685-06
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0114902-69
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0381744-90
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0381778-31
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0573493-74
6 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.09.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0912136-51
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-0912354-08
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0717883-11
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.12.02 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2019-1239748-53
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1239768-66
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0285652-28
12 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2020.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0338935-76
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2020.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2020-0533558-94
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번호 청구항
1 1
플라즈마 발생장치에 있어서,제1 전극;상기 제1 전극과 이격되어 배치되는 제2 전극;상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치되는 유전체; 및상기 유전체 면을 실리콘으로 코팅한 실리콘 코팅층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
2 2
제1 전극;상기 제1 전극과 이격되어 배치되는 제2 전극; 및상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치되는 유전체;를 포함하여 유전장벽방전을 일으키는 플라즈마 발생장치에 적용되는 유전체로서,상기 유전체는 실리콘으로 코팅된 것을 특징으로 하는 유전장벽방전 플라즈마 발생장치용 실리콘코팅 유전체 필름
3 3
제2항에 있어서, 상기 유전체는 폴리머 필름을 기재로 하고, 상기 폴리머 필름의 두께는 10 내지 1000 um이고, 상기 폴리머 필름에 코팅된 실리콘층의 두께는 1 내지 100 um 인 것을 특징으로 하는 유전장벽방전 플라즈마 발생장치용 실리콘코팅 유전체 필름
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.