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제1 도파로 영역, 제2 도파로 영역, 및 이들 사이의 전이 영역을 포함하는 기판; 및상기 기판 상에 제공되는 코아 구조체를 포함하되,상기 코아 구조체는;상기 전이 영역 상에서 제1 방향, 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 제1 코아 세그먼트들; 및상기 제2 도파로 영역 상에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 배열되는 제2 코아 세그먼트들을 포함하고,상기 제1 방향 및 상기 제2 방향은 상기 기판의 상면에 평행한 광 도파로 구조체
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제1항에 있어서,상기 코아 구조체는 상기 제1 방향을 따라 상기 제1도파로 영역 및 상기 전이영역을 가로지르는 주 코아패턴을 더 포함하고,상기 주 코아패턴은 상기 제1 코아 세그먼트들의 사이에 배치되는 광 도파로 구조체
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제2항에 있어서,상기 주 코아패턴은 상기 제1 방향을 따라 상기 전이 영역을 경유하여 상기 제2도파로 영역을 가로지르고,상기 주 코아패턴은 상기 제2 코아 세그먼트들의 사이에 배치되는 광 도파로 구조체
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제3항에 있어서,상기 전이 영역은:상기 제1 도파로 영역에 인접하는 제1 전이 영역; 및상기 제2 도파로 영역에 인접하는 제2 전이 영역을 포함하고,상기 주 코아패턴은 상기 전이 영역 상에서 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열되는 복수의 제3 코아 세그먼트들을 포함하고,상기 제2 전이 영역 상에서 상기 제1 코아 세그먼트들은 상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 열 주위에 배치되는 광 도파로 구조체
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제4항에 있어서,상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 각각은 상기 제1 방향에 따른 길이를 가지되,상기 전이 영역 상에서, 상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 상기 길이들은 상기 제1 방향을 따라 감소하는 광 도파로 구조체
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제 5항에 있어서,상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 각각은 상기 제2 방향에 따른 폭을 가지되,상기 전이 영역 상에서 상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 상기 폭들은 상기 제1 방향을 따라 감소하는 광 도파로 구조체
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7
제 5항에 있어서,상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 각각은 상기 제2 방향에 따른 폭을 가지되,상기 전이영역상에서, 상기 복수의 제3 코아 세그먼트들의 상기 폭들은 상기 제1 방향을 따라 증가하다가 감소하는 광 도파로 구조체
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8
제4항에 있어서,상기 주 코아패턴은 상기 제2 도파로 영역 상에서 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열되는 복수의 제4 코아 세그먼트들을 포함하고, 상기 제2 도파로 영역 상에서, 상기 제2 코아 세그먼트들과 상기 복수의 제4 코아 세그먼트들은 상기 제2 방향을 따라 정렬되는 광 도파로 구조체
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제 8항에 있어서,상기 제2 전이 영역 상에서 상기 제1 코아 세그먼트들과 상기 복수의 제3 코아 세그먼트들은 상기 제2 방향을 따라 정렬되는 광 도파로 구조체
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10
제4항에 있어서,상기 주 코아패턴은 상기 제2 도파로 영역 상에서 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열되는 복수의 제4 코아 세그먼트들을 포함하고,상기 제2 도파로 영역 상에서, 상기 제2 코아 세그먼트들과 상기 복수의 제4 코아 세그먼트들은 상기 제2 방향을 따라 지그재그 형태로 배열되는 광 도파로 구조체
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제10항에 있어서,상기 제2 전이 영역 상에서 상기 제1 코아 세그먼트들과 상기 복수의 제3 코아 세그먼트들은 상기 제2방향을 따라 지그재그 형태로 배열되는 광 도파로 구조체
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제3항에 있어서,상기 전이영역은:상기 제1 도파로 영역에 인접하는 제1 전이 영역; 및상기 제2 도파로 영역에 인접하는 제2 전이 영역을 포함하고,상기 주 코아패턴은 상기 전이 영역 상에서 상기 제1 방향을 따라 테이퍼진 라인 형태를 가지고,상기 제2 전이영역상에서 상기 제1 코아 세그먼트들은 상기 주 코아패턴 주위에 배치되는 광 도파로 구조체
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제12항에 있어서,상기 주 코아패턴은 상기 제2 도파로 영역 상에서 상기 제1방향을 따라 연장되는 라인 형태를 가지고,상기 제2 도파로 영역 상에서 상기 제2 코아 세그먼트들은 상기 주 코아패턴을 사이에 두고 상기 제2방향을 따라 서로 정렬되는 광 도파로 구조체
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제13항에 있어서,상기 제2 전이 영역 상에서 상기 제1 코아 세그먼트들은 상기 주 코아패턴을 사이에 두고 상기 제2방향을 따라 서로 정렬되는 광 도파로 구조체
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