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금속 소스를 포함하고, 일 측에 디스펜서 지지대가 배치되는 원자 디스펜서;제1 밸브를 포함하는 진공관을 통해 진공수단과 연결되는 카트리지 챔버;제2 밸브를 포함하는 진공관을 통해 상기 진공수단과 연결되고, 제3 밸브를 포함하는 진공관을 통해 상기 카트리지 챔버와 연결되는 메인 챔버; 및상기 디스펜서 지지대의 적어도 일부가 배치되고, 제1 동작구간에서 상기 원자 디스펜서를 상기 카트리지 챔버에 위치시키고, 제2 동작구간에서 상기 원자 디스펜서를 상기 메인 챔버로 이동시키는 이동대를 포함하고,상기 카트리지 챔버는 피드스루(feedthrough)를 포함하고,상기 피드스루에 전류를 인가하여 상기 금속 소스를 활성화하는 컨트롤러를 더 포함하고,상기 컨트롤러는,상기 제1 동작구간에서 상기 피드스루에 제1 전류를 인가하고,상기 제2 동작구간에서 상기 피드스루에 상기 제1 전류보다 높거나 같은 레벨을 갖는 제2 전류를 인가하는 것을 특징으로 하는 원자 증기 셀 제작 장치
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제1 항에 있어서,상기 이동대는, 제3 동작구간에서 상기 원자 디스펜서를 상기 카트리지 챔버로 원위치시키는 것을 특징으로 하는 원자 증기 셀 제작 장치
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제1 항에 있어서,상기 메인 챔버 및 하나 이상의 버퍼 가스 주입구와 연결되고, 상기 메인 챔버로 주입되는 상기 하나 이상의 버퍼 가스의 유량을 제어하는 가스 유량 제어기(Mass Flow Controller)를 더 포함하는 원자 증기 셀 제작 장치
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제1 항에 있어서,상기 메인 챔버는,상면에 원자 증기 셀의 상단부가 배치되는 상단부 지지대; 및하면에 상기 원자 증기 셀의 하단부가 배치되는 하단부 지지대를 더 포함하는 원자 증기 셀 제작 장치
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제4 항에 있어서,상기 상단부 지지대는 상기 상단부 지지대를 가열하는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자 증기 셀 제작 장치
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제4 항에 있어서,상기 메인 챔버 및 상기 하단부 지지대 사이에 배치되는 하나 이상의 스프링을 더 포함하는 원자 증기 셀 제작 장치
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금속 소스를 포함하고, 일 측에 디스펜서 지지대가 배치되는 원자 디스펜서;상기 디스펜서 지지대의 적어도 일부가 배치되고, 상기 디스펜서 지지대의 이동을 제어하는 이동대;제1 밸브를 포함하는 진공관을 통해 진공수단과 연결되고, 상기 디스펜서 지지대의 일부가 위치하는 카트리지 챔버; 및제2 밸브를 포함하는 진공관을 통해 상기 진공수단과 연결되고, 제3 밸브를 포함하는 진공관을 통해 상기 카트리지 챔버와 연결되고, 원자 증기 셀의 상단부가 배치되는 상단부 지지대 및 상기 원자 증기 셀의 하단부가 배치되는 하단부 지지대를 구비하는 메인 챔버를 포함하고,상기 카트리지 챔버는 피드스루(feedthrough)를 포함하고,상기 피드스루에 전류를 인가하여 상기 금속 소스를 활성화하는 컨트롤러를 더 포함하고,상기 컨트롤러는,제1 동작구간에서 상기 피드스루에 제1 전류를 인가하고,제2 동작구간에서 상기 피드스루에 상기 제1 전류보다 높거나 같은 레벨을 갖는 제2 전류를 인가하는 것을 특징으로 하는 원자 증기 셀 제작 장치
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제7 항에 있어서,상기 이동대는, 상기 제1 동작구간에서 상기 원자 디스펜서가 상기 카트리지 챔버에 위치하도록 상기 디스펜서 지지대를 이동시키고, 상기 제2 동작구간에서 상기 원자 디스펜서가 상기 메인 챔버에 위치하도록 상기 디스펜서 지지대를 이동시키는 것을 특징으로 하는 원자 증기 셀 제작 장치
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밸브를 포함하는 진공관을 통해 상호 연결된 카트리지 챔버 및 메인 챔버를 구비하는 원자 증기 셀 제작 장치의 동작 방법에 있어서,상기 카트리지 챔버 및 상기 메인 챔버 내부에 진공상태를 형성하는 단계;디스펜서 지지대의 일 측에 배치되고, 상기 카트리지 챔버 내부에 위치한 원자 디스펜서에 제1 전류를 인가하는 단계;상기 디스펜서 지지대를 이동하여 상기 원자 디스펜서를 상기 메인 챔버로 위치시키는 단계; 및상기 원자 디스펜서에 상기 제1 전류보다 높거나 같은 레벨을 갖는 제2 전류를 인가하는 단계를 포함하는 원자 증기 셀 제작 장치의 동작 방법
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