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유연성 기본기재의 표면에 이산화티타늄(TiO2) 나노구조체를 성장시켜 유연성 이산화티타늄 기재를 마련하는 준비단계; 및 상기 유연성 이산화티타늄 기재를 바륨 전구체 용액 내에 위치시키고 수열반응을 유도하여 상기 유연성 기본기재의 표면에 티탄삼바륨(Barium titanate, BaTiO3)을 함유하는 페로브스카이트 박막층이 형성된 코어쉘 구조체를 마련하는 BTO성장단계;를 포함하고,상기 바륨 전구체 용액은, 바륨 전구체와 0
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제1항에 있어서, 상기 준비단계는, 상기 유연성 기본기재는 티타늄을 함유하는 것으로, 상기 유연성 기본기재를 산용액으로 처리하여 외표면이 에칭된 유연성 기본기재인 1차처리된 기재를 마련하는 1차처리과정; 상기 1차처리된 기재를 산화시켜 표면 거칠기가 조절된 2차처리된 기재를 마련하는 2차처리과정; 상기 2차처리된 기재를 티타늄 전구체 용액 내에 침지하여 화학처리된 기재를 준비하는 화학처리과정; 그리고상기 화학처리된 기재를 열처리하여 유연성 이산화티타늄 기재를 마련하는 열처리과정;을 포함하는, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 1차처리과정에서 적용하는 산용액은 약산 수용액인, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 화학처리과정의 화학처리는 70 내지 110 ℃의 화학처리온도에서 진행되는 것인, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 2차처리과정의 산화는, 상기 1차처리된 기재를 과산화수소 용액에 침지시는 방법으로 진행되는, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 열처리과정의 열처리는 400 내지 600 ℃에서 1시간 내지 3시간 동안 진행되는, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 BTO성장단계에서 수열반응은 160 내지 240 ℃의 수열온도에서 24 내지 48 시간의 수열반응시간 동안 진행되는, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법은,상기 코어쉘 구조체 상에 지지층과 외부전극층, 그리고 패키징층을 순차로 포함하도록 형성하는 소자제조단계를 더 포함하고, 상기 유연성 기본기재가 내부전극으로 작용하는 것인, BTO 기반 유연성 압전소자의 제조방법
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내부전극의 기능을 갖는 유연성 기본기재, 및 상기 유연성 기본기재 상에 위치하며 상기 유연성 기본기재의 표면에 입자의 크기가 200 nm 이하인 나노입자와 350 nm 이하의 직경을 갖는 나노니들로 구성된 나노구조의 티탄삼바륨(Barium titanate, BaTiO3)을 함유하는 페로브스카이트 박막층을 포함하고, 유연성을 갖는 것으로 직경이 500 μm 이하인 코어쉘 구조체; 상기 코어쉘 구조체 상에 위치하는 지지층; 상기 지지층 상에 위치하는 외부전극층; 및 상기 외부전극층 상에 위치하는 패키징층;을 포함하는, BTO 기반 유연성 압전소자
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제9항에 있어서,상기 유연성 기본기재는 티타늄 와이어이고, 상기 페로브스카이트 박막층은 상기 티타늄 와이어 상에 반경 성장된 것인, BTO 기반 유연성 압전소자
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