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사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법

  • 기술번호 : KST2019014299
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이종의 종자결정상에서 승화에 의한 성장법을 이용하며, 상기 이종의 종자결정은 사파이어 종자결정이고, 질화알루미늄이 승화됨으로써 상기 사파이어 종자결정상에서 단결정으로 성장되며, 사파이어 종자결정의 위치에서 측정되는 온도는 사파이어 종자결정의 융점이하가 되도록 조절되되, 질화알루미늄의 승화온도는 사파이어 종자결정의 융점을 초과하는 경우도 포함하는 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법을 제공한다.
Int. CL C30B 29/40 (2006.01.01) C30B 23/00 (2006.01.01) C30B 29/20 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C30B 29/40(2013.01) C30B 29/40(2013.01) C30B 29/40(2013.01) C30B 29/40(2013.01) C30B 29/40(2013.01)
출원번호/일자 1020180005175 (2018.01.15)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-2028366-0000 (2019.09.27)
공개번호/일자 10-2019-0086978 (2019.07.24) 문서열기
공고번호/일자 (20191004) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.15)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영희 서울특별시 서대문구
2 권용진 경상남도 진주시 가호로 **,
3 정성민 경기도 광명시 소하로 *, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0047571-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0016539-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0125061-23
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0414745-09
6 보정요구서
Request for Amendment
2019.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0073099-40
7 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2019.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0448151-29
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0517148-99
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-0517145-52
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0544893-54
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0793080-89
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0793073-69
13 등록결정서
Decision to grant
2019.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0692988-75
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이종의 종자결정상에서 승화에 의한 성장법을 이용하며,상기 이종의 종자결정은 사파이어 종자결정이고, 질화알루미늄이 승화됨으로써 상기 사파이어 종자결정상에서 단결정으로 성장되며,사파이어 종자결정의 위치에서 측정되는 온도는 사파이어 종자결정의 융점이하가 되도록 조절되되, 질화알루미늄의 승화온도는 사파이어 종자결정의 융점을 초과하는 경우도 포함하고,종자결정과 승화대상 원료의 온도차가 200℃인 조건과 공정 중 질소 유량 증가로 인하여 질화알루미늄의 질소와 알루미늄의 몰비가 2:1인 조건하에, 공정압력이 0
2 2
제1항에 있어서,승화되는 상기 질화알루미늄은 분말인 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 분말의 평균크기는 100 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 질화알루미늄의 승화온도가 사파이어 종자결정의 융점을 초과하는 경우에는 상기 융점보다 300℃를 초과하지 않도록 조절되는 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법
7 7
제6항에 있어서,단결정 성장시 공급되는 질소의 알루미늄에 대한 상대적인 유량이 증가됨에 따라서 질화알루미늄의 승화온도와 사파이어 종자결정의 융점의 차이가 더 커지는 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법
8 8
제1항에 있어서,단결정 성장시 질소의 알루미늄에 대한 상대적인 유량을 증가시킴으로써 승화온도를 하향 조절 가능한 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법
9 9
제1항에 있어서,단결정 성장시 공급되는 질소의 알루미늄에 대한 상대적인 유량이 증가됨에 따라서 공정압력 범위가 좁아지고 공정압력이 전체적으로 상향 이동되는 것을 특징으로 하는 사파이어 종자결정상에서 질화알루미늄을 성장시키는 방법
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국세라믹기술원 정책연구사업 사파이어 단결정을 종자결정으로 적용한 AlN 벌크 단결정 성장 기초 기술 개발