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UV레이저를 이용한 기판의 절단 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2019014488
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속, 비금속 또는 수지 기판을 절단하는 방법에 관한 것으로, 특히 UV 레이저를 이용한 기판의 절단 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 레이저 빔을 이용하여 기판을 절단하는 장치에 있어서, 고출력, 고반복주파수의 UV레이저를 발진하는 레이저 발진기; 상기 빔의 초점 깊이(Depth of Focus, DOF)를 조절할 수 있는 광학계; 및 상기 레이저 발진기에서 발진된 빔이 상기 광학계로 조사될 수 있도록 광 경로를 조절하는 미러;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, UV 레이저를 이용함으로써 정밀가공이 가능하며, ITO, IZO 코팅된 기판이나 합착기판 역시 한번에 절단이 가능하다. UV 레이저, 기판, 절단, 광학계, DOF
Int. CL B23K 26/38 (2014.01.01) B23K 26/067 (2006.01.01) B23K 26/04 (2014.01.01) B23K 26/08 (2014.01.01) B23K 103/00 (2006.01.01)
CPC B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01)
출원번호/일자 1020070070501 (2007.07.13)
출원인 주식회사 코윈디에스티, 김일호
등록번호/일자 10-0921662-0000 (2009.10.07)
공개번호/일자 10-2009-0006977 (2009.01.16) 문서열기
공고번호/일자 (20091014) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.13)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 코윈디에스티 대한민국 경기 안양시 동안구
2 김일호 대한민국 서울 서초구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김일호 대한민국 서울 서초구
2 정종갑 대한민국 경기 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 코윈디에스티 경기 안양시 동안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0511139-23
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2007.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0931144-92
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0016984-42
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0138020-10
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0326851-08
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0326859-62
8 등록결정서
Decision to grant		 2009.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0377583-97
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.01 수리 (Accepted) 4-1-2010-0018866-52
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2010-5227421-34
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2011-5138211-22
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5000420-56
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005044-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5021370-50
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5021033-89
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.15 수리 (Accepted) 4-1-2019-5214416-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 빔을 이용하여 기판을 절단하는 장치에 있어서, 기판을 지지하는 테이블; UV 레이저를 발진하는 레이저 발진기; 상기 레이저 발진기로부터 발진된 빔의 초점 깊이(Depth of Focus, DOF)를 조절할 수 있는 광학계; 상기 빔이 상기 광학계로 조사될 수 있도록 광경로를 조절하는 미러; 상기 레이저 빔의 초점을 1차 이미지 면에 맺히게 하는 결상 광학계; 상기 1차 이미지 면을 지난 레이저 빔의 조사 범위를 적게 하거나 동일하게 하면서 빔을 평행하게 출력하는 빔 전달 광학계; 및 상기 레이저 빔을 상기 기판에 초점이 정밀하게 맺히도록 상기 테이블과의 간격을 조절하는 대물렌즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 빔의 펄스 에너지는 0
4 4
제 1항에 있어서, 상기 레이저의 반복주파수는 50KHz ~ 1MHz인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 레이저의 파장은 300nm ~ 400nm인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 레이저 빔의 초점이 흐려지는 경우 초점을 조절하는 초점조절 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
7 7
제 1항에 있어서, 상기 레이저 발진기에서 발진된 빔을 분할하는 빔 스플리터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
8 8
제 1항에 있어서, 상기 테이블은 X축 또는 Y축 방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
9 9
제 1항에 있어서, 상기 테이블은 상기 기판을 이송할 수 있는 롤러가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 롤러는 승강되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
11 11
제 1항에 있어서, 상기 레이저 발진기를 X축 또는 Y축 방향으로 구동하는 갠트리가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
12 12
제 1항에 있어서, 상기 레이저 발진기는 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
13 13
제 1항에 있어서, 상기 광학계와 미러는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
14 14
제 1항에 있어서, 상기 광학계는 초점거리를 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
15 15
제 1항에 있어서, 상기 광학계의 후면에 기판의 절단 여부를 확인하는 모니터링 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
16 16
제 15항에 있어서, 상기 모니터링 장치는 레이저 변위 센서 또는 실시간 카메라인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치
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