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곡면 페이즈 마스크 장치 및 이를 이용한 원통의 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2019014619
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평면이 아닌 곡면의 표면을 패터닝하는 페이즈 마스크 장치 및 이를 이용한 패터닝하는 방법에 대한 것이다. 본 발명의 일 측면에 따른 곡면 페이즈 마스크 장치는 반경이 1mm ~ 2900mm인 원통의 표면을 1nm~ 1000mm 떨어진 거리에서 상기 원통의 표면을 패터닝하며 곡률반경이 5mm ~ 3000mm이다. 본 발명의 다른 측면에 따른 원통의 표면을 패터닝하는 방법은 반경이 1mm ~ 2900mm인 원통의 표면에서 1nm ~ 1000mm 떨어진 거리에서 곡률반경이 5mm ~ 3000mm인 페이즈 마스크 장치를 위치시키는 단계와, 상기 페이즈 마스크 장치에 빛을 통과시키 상기 원통의 표면을 패터닝하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면 평면으로된 마스크 장치에서 발생되는 노광 끝면에서의 형상 오차와 치수 오차가 곡면으로 된 페이즈 마스크 장치를 이용하면 존재하지 않으며, 평면에서와 동일한 패터닝을 곡면에서 가능하게 할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 1/26 (2012.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190090382 (2019.07.25)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0089832 (2019.07.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2017-0139506 (2017.10.25)
관련 출원번호 1020170139506
심사청구여부/일자 Y (2019.07.25)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 마용원 부산광역시 금정구
2 신보성 부산광역시 해운대구
3 윤단희 부산광역시 해운대구
4 곽청렬 부산광역시 금정구
5 박준한 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2019.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0766477-78
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0592002-71
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-1030098-94
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-1171691-77
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1295242-65
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0048954-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0048976-11
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2020.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0371544-46
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번호 청구항
1 1
반경이 1mm ~ 2900mm인 원통의 표면에서 1nm ~ 1000mm 떨어진 거리에 위치한 곡률반경이 5mm ~ 3000mm인 페이즈 마스크 장치에 빛을 통과시켜 상기 원통의 표면을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 원통의 표면을 패터닝하는 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020190046209 KR 대한민국 FAMILY

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