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작동유체를 내부공간에 유입시키도록 작동유체가 유입되는 유입구가 구비되며, 상기 내부공간에 압력을 측정하기 위한 센서부가 구비된 챔버;상기 내부공간의 부피를 조절하여, 상기 내부공간을 제1 압력조건으로 형성시키도록 작동하는 제1 압력조절부;상기 내부공간이 제1 압력조건을 형성한 이후에, 압력파를 부여하여, 제2 압력조건을 형성시키도록 작동하는 제2 압력조절부;를 포함하는 동압 발생장치
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청구항 1에 있어서,상기 제2 압력조절부는,상기 챔버의 길이방향으로 신장 가능하게 배치되며, 상기 챔버의 내측 벽면으로부터 상기 내부공간을 향하도록 배치된 액추에이터;상기 액추에이터에 전압을 인가하여, 상기 액추에이터의 신장 길이를 급속하게 가변시키는 제1 인가부;를 포함하는 동압 발생장치
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청구항 2에 있어서,상기 액추에이터는 피에조 액추에이터인 동압 발생장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버는, 내측 벽면에 유체가 유입되는 주입구가 구비되며,상기 제2 압력조절부는, 상기 주입구에 상기 작동유체와 동일한 상기 유체를 주입하는 인젝터;상기 인젝터에 전압을 인가하는 제2 인가부;를 더 포함하는 동압 발생장치
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5
청구항 1에 있어서,상기 제1 압력조절부는, 외주면에 나사산이 형성된 가압부재를 포함하며, 상기 가압부재를 상기 내부공간으로 통과시키도록 상기 나사산에 대응되게 상기 챔버에 나사산이 형성되며, 상기 가압부재는, 상기 내부공간을 향해 이동하여, 상기 내부공간의 부피를 조절하는 동압 발생장치
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청구항 2에 있어서,상기 센서부는, 상기 압력파를 측정하기 위한 다이어프램과, 상기 압력파를 전압으로 변환시키는 변환부를 포함하며, 상기 제1 인가부가 인가한 전압과, 상기 변환부에서 변환된 전압을 비교하는 제어부를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 제1 인가부의 전압에 상기 변환부의 전압이 상응할 시, 상기 센서부가 정상임을 판단하는 동압 발생장치
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청구항 4에 있어서,상기 센서부는, 상기 압력파를 측정하기 위한 다이어프램과 상기 압력파를 전압으로 변환시키는 변환부를 포함하며, 상기 제2 인가부가 인가한 전압과, 상기 변환부에서 변환된 전압을 비교하는 제어부를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 제2 인가부의 전압에 상기 변환부의 전압이 상응할 시, 상기 센서부가 정상임을 판단하는 동압 발생장치
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8
청구항 1에 있어서,상기 내부공간의 상기 압력의 변동에 따른 압력파의 반사를 방지하도록 감쇄부를 더 포함하며, 상기 감쇄부는, 나선형으로 감겨진 파이프 형태로 형성되며, 상기 작동유체는 상기 챔버의 길이방향으로 유동하며, 상기 길이방향을 기준으로, 상기 챔버의 일측에는 상기 제2 압력조절부가 배치되며, 타측에는 상기 감쇄부가 배치되며, 상기 감쇄부의 일단은 상기 챔버의 타측과 연통되되, 타단은 상기 챔버 외부에 배치된 동압 발생장치
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9
청구항 8에 있어서,상기 센서부는, 상기 감쇄부와 근접한 상기 챔버의 타측에 배치되는 동압 발생장치
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10
청구항 9에 있어서,상기 센서부는 외주면에 나사산이 형성되며, 상기 챔버는 상기 내부공간에 상기 센서부가 배치되도록 상기 나사산에 대응되게 상기 챔버에 나사산이 형성되며, 상기 작동유체는 상기 챔버의 길이방향으로 유동하며, 상기 센서부는, 상기 길이방향에 수직되게 배치된 동압 발생장치
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11
청구항 8에 있어서,상기 감쇄부의 타단에는 밸브가 설치되며, 상기 밸브의 조절에 의하여, 상기 내부공간의 압력이 조절되는 동압 발생장치
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12
청구항 8에 있어서,상기 챔버의 외면을 냉각시키기 위한 냉각 재킷부가 더 포함되며, 상기 냉각 재킷부는, 상기 챔버의 외면으로부터 이격되게 배치되며, 상기 챔버와 상기 냉각 재킷부 사이의 공간에 냉각 매체가 유동되는 동압 발생장치
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