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원자층 증착법을 이용하여 탄소 소재의 표면에 니켈을 증착시키는 단계를 포함하는 나노 소재의 제조방법으로서,(a) 탄소 소재 표면에 니켈 전구체를 투입하여 흡착시키는 노출 단계;(b) 상기 흡착되지 않은 니켈 전구체를 제거하는 퍼징 단계;(c) 상기 니켈 전구체가 흡착된 탄소 소재를 반응물과 반응시키는 단계; 및(d) 상기 반응이 완료된 후 잔존하는 미반응물을 제거하는 최종 퍼징 단계;를 포함하며,상기 반응물은 NH3 가스 또는 NH3 플라즈마인 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 NH3 가스는 50 내지 100 ℃의 온도에서 100 내지 400 sccm의 유량으로 5 내지 10초 동안 주입하는 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 NH3 플라즈마는 100 내지 400 W의 전력을 가하여 5 내지 10초 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계는 니켈 전구체를 투입하기 전에 탄소 소재를 반응물로 전처리하는 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄소 소재의 표면에 증착된 니켈은 나노와이어 또는 나노 필름으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 나노와이어는 탄소 소재 표면의 스텝 엣지를 따라 형성된 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제조방법은 상기 (a) 내지 (d) 단계로 이루어진 사이클이 반복적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 사이클의 횟수가 증가할수록 탄소 표면에 증착된 니켈은 나노와이어의 길이가 길어지거나, 또는 나노 필름의 두께가 증가하는 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄소 소재는 흑연이고,상기 니켈 전구체는 Nickel(1-dimethylamino-2-methyl-2-butanolate)2인 것을 특징으로 하는 나노 소재의 제조방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따라 제조된 나노 소재를 포함하는 촉매
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따라 제조된 나노 소재를 포함하는 전극
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