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복수의 관성 센서를 포함하는 MEMS 관성 센서 장치에 있어서,기판; 및상기 기판에 배치된 홀수개의 3축 관성 센서를 포함하며,상기 관성 센서 중 하나는, 상기 관성 센서 장치의 무게 중심에 배치되며,나머지 관성 센서는, 상기 무게 중심으로부터 동일한 거리만큼 이격되어 배치되며,상기 기판의 좌표계에서의 기준축과, 상기 나머지 관성 센서의 좌표계에서의 기준축 사이의 각도( )는 하기 수학식에 따라 결정되는MEMS 관성 센서 장치
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제 1항에 있어서,상기 나머지 관성 센서는한쌍씩 서로 마주 보도록 배치되며,상기 나머지 관성 센서 사이의 각도는 모두 동일한MEMS 관성 센서 장치
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제 1항에 있어서,상기 무게 중심에 배치된 상기 관성 센서 중 하나는 상기 기판의 좌표계에서의 기준축의 방향과, 상기 무게 중심에 배치된 상기 관성 센서 중 하나의 좌표계에서의 기준축의 방향이 일치하도록 배치되는MEMS 관성 센서 장치
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복수의 관성 센서를 포함하는 MEMS 관성 센서 장치에 있어서,기판; 및상기 기판에 배치된 짝수개의 3축 관성 센서를 포함하며,상기 짝수개의 관성 센서는, 상기 관성 센서 장치의 무게 중심으로부터 동일한 거리만큼 이격되어 배치되며,상기 기판의 좌표계에서의 기준축과, 상기 짝수개의 관성 센서의 좌표계에서의 기준축 사이의 각도( )는 하기 수학식에 따라 결정되는MEMS 관성 센서 장치
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제 5항에 있어서,상기 짝수개의 관성 센서는한쌍씩 서로 마주 보도록 배치되며,상기 짝수개의 관성 센서 사이의 각도는 모두 동일한MEMS 관성 센서 장치
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복수의 관성 센서를 포함하는 MEMS 관성 센서 장치에 있어서,기판; 및상기 기판에 배치된 복수개의 3축 관성 센서를 포함하며,상기 기판의 좌표계에서의 기준축과, 상기 복수개의 관성 센서의 좌표계에서의 기준축 사이의 각도( )는 하기 수학식에 따라 결정되는MEMS 관성 센서 장치
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