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열전류 제어 소자와 그것의 제조방법 및 그것을 포함하는 열전류 제어 시스템

  • 기술번호 : KST2019014862
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 위상절연체와 그래핀의 이종접합구조를 이용하여 입력되는 광에 대하여 보다 큰 열전류가 발생되고, 열전류의 제어가 가능한 열전류 제어 소자에 관한 기술로서, 기판과, 기판 위에 위치하는 위상절연체와, 기판 위에 위상절연체와 오믹(ohmic) 접합되며 위치되는 그래핀과, 위상절연체의 일측에 연결되는 제1전극과, 그래핀의 일측에 연결되는 제2전극과, 기판 위에 위치하는 커버와, 일측이 커버와 연결되는 제3전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 35/30 (2006.01.01) H01L 35/04 (2006.01.01) H01L 35/16 (2006.01.01) H01L 35/18 (2006.01.01) H01L 35/34 (2006.01.01)
CPC H01L 35/30(2013.01) H01L 35/30(2013.01) H01L 35/30(2013.01) H01L 35/30(2013.01) H01L 35/30(2013.01)
출원번호/일자 1020180003880 (2018.01.11)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0085697 (2019.07.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.11)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최현용 서울특별시 송파구
2 배혜민 서울특별시 서대문구
3 이제관 경기도 고양시 덕양구
4 노민지 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0035747-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2019-0014103-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0271236-52
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0616617-45
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0616585-72
7 등록결정서
Decision to grant
2019.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0754667-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 위에 위치하는 위상절연체;상기 기판 위에 상기 위상절연체와 오믹(ohmic) 접합되며 위치되는 그래핀;상기 위상절연체의 일측에 연결되는 드레인 기능의 제1전극;상기 그래핀의 일측에 연결되는 소스 기능의 제2전극;상기 위상절연체 및 상기 그래핀을 내부에 수용하는 커버; 및일측이 상기 커버와 연결되는 게이트 기능의 제3전극을 포함하고,상기 그래핀과 상기 위상절연체에 광이 입력되고, 상기 제3전극에 전압이 입력되면, 상기 그래핀은 상기 제3전극에 인가되는 전압에 대응하여 페르미준위(fermi level)가 가변되고, 상기 페르미준위가 가변되면 제벡 계수의 값도 변화되어 상기 그래핀과 상기 위상절연체의 접합부에서 나타나는 열전류의 크기가 제어되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 위상절연체는 상기 기판 위에 세로방향으로 길게 형성된 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 위상절연체는 , , 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
4 4
제1항에 있어서,상기 위상절연체는 기계적 박리법(mechanical exfoliation)으로 제작된 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
5 5
제2항에 있어서,상기 그래핀은 상기 기판 위에 상기 위상절연체가 형성된 방향과 상이한 방향으로 길게 형성된 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
6 6
제1항에 있어서,상기 그래핀은 모노레이어(monolayer)인 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
7 7
제6항에 있어서,상기 그래핀은 전사 방식으로 상기 기판 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 커버는 이온젤인 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
10 10
삭제
11 11
제9항에 있어서,상기 제3전극은 상기 기판 위에 상기 위상절연체 및 상기 그래핀과 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
12 12
삭제
13 13
제1항에 있어서,상기 제1전극과 상기 제2전극 중 적어도 어느 하나는 티타늄(Ti)이 먼저 배치된 후 상기 티타늄 위에 전도체가 배치된 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
14 14
제13항에 있어서,상기 제1전극, 상기 제2전극, 상기 제3전극은 전자빔 식각(e-beam lithography)을 이용하여 제작되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자
15 15
기판에 이종의 재료를 적층하는 것으로 열전류 소자를 제조하는 방법에 있어서,상기 기판 위에 위상절연체를 배치하는 단계;상기 위상절연체 일측에 드레인 기능의 제1전극을 배치하는 단계;상기 기판에 상기 위상절연체와 오믹(ohmic) 접합되게 그래핀을 배치하는 단계;상기 그래핀의 일측에 소스 기능의 제2전극을 배치하는 단계;상기 기판에 상기 위상절연체 및 상기 그래핀과 이격되게 게이트 기능의 제3전극을 배치하는 단계; 및상기 기판 위에 상기 위상절연체 및 상기 그래핀을 내부에 수용하는 커버를 배치하는 단계를 포함하고,상기 그래핀과 상기 위상절연체에 광이 입력되고, 상기 제3전극에 전압이 입력되면, 상기 그래핀은 상기 제3전극에 인가되는 전압에 대응하여 페르미준위(fermi level)가 가변되고, 상기 페르미준위가 가변되면 제벡 계수의 값도 변화되어 상기 그래핀과 상기 위상절연체의 접합부에서 나타나는 열전류의 크기가 제어되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
16 16
제15항에 있어서,상기 위상절연체는 상기 기판 위에 세로방향으로 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
17 17
제15항에 있어서,상기 위상절연체는 , , 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
18 18
제15항에 있어서, 상기 기판 위에 위상절연체를 배치하는 단계는기계적 박리법(mechanical exfoliation)으로 실시되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
19 19
제16항에 있어서,상기 그래핀은 상기 기판 위에 상기 위상절연체가 형성된 방향과 상이한 방향으로 길게 형성된 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
20 20
제15항에 있어서,상기 그래핀은 모노레이어(monolayer)인 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
21 21
제20항에 있어서, 상기 기판 위에 상기 위상절연체와 오믹(ohmic) 접합되게 그래핀을 배치하는 단계는전사 방식으로 실시되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
22 22
삭제
23 23
제15항에 있어서,상기 제3전극은 일측이 상기 커버에 수용된 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
24 24
제15항에 있어서,상기 커버는 이온젤인 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
25 25
삭제
26 26
제15항에 있어서,상기 제1전극을 배치하는 단계와 상기 제2전극을 배치하는 단계 중 적어도 어느 하나는 티타늄(Ti)이 먼저 배치된 후 상기 티타늄 위에 전도체가 배치되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
27 27
제15항에 있어서,상기 제1전극을 배치하는 단계, 상기 제2전극을 배치하는 단계 및 상기 제3전극을 배치하는 단계는전자빔 식각(e-beam lithography)을 이용하는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자의 제조방법
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기판과, 상기 기판 위에 위치하는 위상절연체와, 상기 기판 위에 상기 위상절연체와 오믹(ohmic) 접합되며 위치되는 그래핀과, 상기 위상절연체의 일측에 연결되는 드레인 기능의 제1전극과, 상기 그래핀의 일측에 연결되는 소스 기능의 제2전극과, 상기 위상절연체 및 상기 그래핀을 내부에 수용하는 커버와, 일측이 상기 커버와 연결되는 게이트 기능의 제3전극을 포함하고, 상기 그래핀과 상기 위상절연체에 광이 입력되고, 상기 제3전극에 전압이 입력되면, 상기 그래핀은 상기 제3전극에 인가되는 전압에 대응하여 페르미준위(fermi level)가 가변되고, 상기 페르미준위가 가변되면 제벡 계수의 값도 변화되어 상기 그래핀과 상기 위상절연체의 접합부에서 나타나는 열전류의 크기가 제어되는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 소자;페르미준위(fermi level) 제어 신호를 상기 열전류 제어 소자의 게이트 전극에 입력하는 페르미 제어부; 및상기 열전류 제어 소자의 드레인 전극 및 소스 전극에 연결되어, 상기 열전류 제어 소자에 광이 입사되었을 때 발생되는 열전류의 신호를 수신하는 전류 수신부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열전류 제어 시스템
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 기초연구실육성사업 Ezbaro_디랙 물질 융복합 테라파 제어 연구실(2/3)
2 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 위상절연체 기반 극초고속 광제어 스핀트로닉스 소자 연구(2/3)(2015.11.1~2018.10.31)