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다중 모드 열영상 측정 장치에 있어서,상기 다중 모드 열영상 측정 장치는 다중 모드 중 어느 하나에서 동작하되, 상기 다중 모드 중 제1 모드에서, 광원의 광 신호로 제1 샘플을 스캐닝하고, 상기 스캐닝에 의해 상기 제1 샘플로부터 반사된 신호를 파장 별로 분리하여 검출하며, 상기 파장 별로 분리 검출된 신호를 기초로 상기 파장에 따른 반사율 변화량 스펙트럼을 도출하고 -상기 파장에 따른 반사율 변화량 스펙트럼은 상기 파장 별로 분리 검출된 신호에 대한 반사율의 변화량을 나타냄-, 상기 도출된 반사율 변화량 스펙트럼을 기초로 파장을 선택하고, 상기 제1 샘플로부터 반사된 신호 중 상기 선택된 파장으로 제한된 광 신호를 필터를 통해 검출하여 상기 제1 샘플의 열영상을 획득하고,상기 다중 모드 중 제2 모드에서, 제2 샘플의 열 복사를 검출하여 상기 제2 샘플의 열영상을 획득하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 백색 광원에 해당하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 모드에서, 상기 다중 모드 열영상 측정 장치는 상기 파장 별로 분리 검출된 신호를 주파수 영역에서 분석하여 각 파장에 대한 반사율 변화량을 획득하고, 상기 각 파장에 대해 획득된 반사율 변화량과 상기 각 파장을 서로 맵핑하여 상기 반사율 변화량 스펙트럼을 도출하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 모드에서, 상기 다중 모드 열영상 측정 장치는 상기 도출된 반사율 변화량 스펙트럼에서 반사율 변화량이 최대인 파장을 선택하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 모드에서, 상기 다중 모드 열영상 측정 장치는 상기 광원의 광 신호의 스캐닝에 의해 상기 제1 샘플로부터 반사된 신호 중 상기 선택된 파장으로 제한된 광 신호를 주파수 영역에서 분석하고, 분석 결과를 통해 상기 제1 샘플의 열영상을 획득하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 모드에서, 상기 다중 모드 열영상 측정 장치는 슬라미딩 미러와 적외선 대물렌즈를 정렬시키는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 다중 모드 열영상 측정 장치는,상기 제1 샘플 또는 제2 샘플에 교류 바이어스 신호 또는 직류 바이어스 신호를 인가하는 전원 공급기;상기 광원의 광 신호로 상기 제1 샘플을 스캐닝하는 현미경;상기 제1 샘플로부터 반사된 신호를 파장 별로 분리하여 검출하는 분광기;상기 반사율 변화량 스펙트럼을 도출하고, 상기 도출된 반사율 변화량 스펙트럼을 기초로 파장을 선택하며, 상기 선택된 파장의 광 신호를 주파수 영역에서 분석하고, 분석 결과를 통해 상기 제1 샘플의 열영상을 획득하는 제어기; 및슬라이딩 미러 및 적외선 대물렌즈를 통해 상기 열 복사를 검출하는 적외선 열영상기를 포함하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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제7항에 있어서,상기 전원 공급기는 상기 제1 모드에서 상기 제1 샘플에 상기 교류 바이어스 신호를 인가하고 상기 제2 모드에서 상기 제2 샘플에 상기 직류 바이어스 신호를 인가하는,다중 모드 열영상 측정 장치
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다중 모드 열영상 측정 장치의 동작 방법에 있어서,다중 모드 중 제1 모드에서의 동작 방법은,광 신호로 제1 샘플을 스캐닝하는 단계;상기 스캐닝에 의해 상기 제1 샘플로부터 반사된 신호를 파장 별로 분리하여 검출하고, 상기 파장 별로 분리 검출된 신호를 기초로 상기 파장에 따른 반사율 변화량 스펙트럼을 도출하는 단계 -상기 파장에 따른 반사율 변화량 스펙트럼은 상기 파장 별로 분리 검출된 신호에 대한 반사율의 변화량을 나타냄-; 상기 도출된 반사율 변화량 스펙트럼을 기초로 파장을 선택하는 단계; 및 상기 제1 샘플로부터 반사된 신호 중 상기 선택된 파장으로 제한된 광 신호를 필터를 통해 검출하여 상기 제1 샘플의 열영상을 획득하는 단계를 포함하고,상기 다중 모드 중 제2 모드에서의 동작 방법은,제2 샘플의 열 복사를 검출하여 상기 제2 샘플의 열영상을 획득하는 단계를 포함하는,다중 모드 열영상 측정 장치의 동작 방법
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