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입력포트와 멤브레인 캐패시터 사이의 유로로 기능하는 입력 채널;상기 멤브레인 캐패시터와 메인 밸브 사이의 유로로 기능하는 게이트 공급 채널;유체저항 채널 및 릴리프 밸브를 통하여 상기 게이트 공급채널과 연결되는 게이트 공급 포트;상기 메인 밸브를 통하며, 소스 공급 포트로부터 출력포트 사이의 유로로 기능하는 출력 채널을 포함하는 스케줄러 모듈을 포함하며,상기 스케줄러 모듈은 복수로 구비한 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제1 항에 있어서,상기 게이트 공급 채널에 압력이 증가되는 경우 상기 게이트 공급 채널로부터 상기 유체저항 채널 및 릴리프 밸브를 통하여 유체가 이동하며,상기 게이트 공급 채널에 압력이 감소되는 경우 상기 게이트 공급 채널로 상기 유체저항 채널을 통하여 유체가 이동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제2 항에 있어서,상기 게이트 공급 채널은 상기 메인 밸브의 게이트와 유체소통되도록 구성되며,상기 게이트 공급 채널에 압력이 기준압력보다 낮아지는 시점부터 상기 유체저항 채널로 유체가 유동하여 상기 기준압력으로 회복되기까지의 소정시간동안 상기 메인 밸브가 개방되어 상기 출력 채널의 유체가 유동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제2 항에 있어서,상기 릴리프 밸브는,상기 게이트 공급 채널에 작용되는 압력이 소정압력 이상인 경우 개방되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제4 항에 있어서,상기 릴리프 밸브는,게이트가 상기 출력 채널과 연결되어 유체소통되며,상기 게이트 공급 채널에 작용하는 압력이 상기 출력 채널에 작용하는 압력보다 큰 경우 상기 릴리프 밸브가 개방되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제5 항에 있어서,상기 모듈은 상기 입력포트에 입력이 없는 경우 상기 메인 밸브를 폐쇄할 수 있도록 상기 게이트 공급 포트와 상기 소스 공급 포트에 공급되는 유체의 압력은 소정범위내로 공급되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제1 항에 있어서,상기 복수의 스케줄러 모듈은 적어도 하나의 모듈의 출력포트에 전달되는 유체의 압력이 적어도 다른 하나의 모듈의 입력포트에 작용하여 상기 복수의 모델들 간 적어도 일부는 순차적으로 출력이 발생되도록 구성된 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제7 항에 있어서,상기 복수의 스케줄러 모듈은 각각 직렬로 연결되어 어느 하나의 출력이 다음 순서의 스케줄러 모듈의 입력으로 압력을 전달하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제2 항에 있어서,상기 모듈은 레이어(layer) 적층으로 구성된 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제1 항에 있어서,상기 멤브레인 캐패시터는 내측에 챔버가 형성되며, 상기 챔버를 제1 서브챔버 및 제2 서브챔버로 구분하는 멤브레인을 포함하여 구성되며,상기 제1 서브챔버는 상기 입력 채널과 연결되어 유체소통되며,상기 제2 서브챔버는 상기 게이트 공급 채널과 연결되어 유체소통 되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제10 항에 있어서,상기 입력포트에 외부입력이 인가되는 경우,상기 멤브레인이 변형되며 상기 게이트 공급 채널 내부로 압력을 전달하며,상기 게이트 공급 채널 내부의 유체가 상기 유체저항 채널 및 상기 릴리프 밸브를 통하여 상기 게이트 공급 채널 내부로부터 상기 게이트 공급 포트 측으로 제1 시간동안 이동되며,상기 입력포트에 외부입력이 해제되는 경우 상기 게이트 공급 채널 내부의 유체가 상기 유체저항 채널을 통하여 상기 게이트 공급 포트 측으로부터 상기 게이트 공급 채널측으로 제2 시간동안 유동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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제1 항에 있어서,상기 게이트 공급 채널에 공급되는 유체는 비압축성 유체인 것을 특징으로 하는 미세유체 제어 스케줄러 회로
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미세유체 제어 스케줄러 회로;상기 스케줄러 회로에 따른 스케줄링 결과에 따라 프로세스가 제어되는 공압 논리 회로; 및상기 공압 논리 회로의 출력에 따라 프로세스가 진행되도록 구성되는 반응챔버를 포함하여 구성되며,상기 미세유체 제어 스케줄러 회로는 복수의 스케줄러 모듈을 포함하여 구성되며,상기 스케줄러 모듈은,입력포트와 멤브레인 캐패시터 사이의 유로로 기능하는 입력 채널;상기 멤브레인 캐패시터와 메인 밸브 사이의 유로로 기능하는 게이트 공급 채널;유체저항 채널 및 릴리프 밸브를 통하여 상기 게이트 공급채널과 연결되는 게이트 공급 포트; 및상기 메인 밸브를 통하며, 소스 공급 포트로부터 출력포트 사이의 유로로 기능하는 출력 채널을 포함하여 구성되는 랩온어칩
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제13 항에 있어서,상기 게이트 공급 채널에 압력이 증가되는 경우 상기 게이트 공급 채널로부터 상기 유체저항 채널 및 릴리프 밸브를 통하여 유체가 이동하며,상기 게이트 공급 채널에 압력이 감소되는 경우 상기 게이트 공급 채널로 상기 유체저항 채널을 통하여 유체가 이동하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 랩온어칩
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