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적어도 하나 이상의 회전축을 구비하는 미러가 회전 가능하게 설치된 기판;상기 기판의 외곽에 설치되는 압전 소자; 및상기 기판을 고정하며 상기 기판을 이루는 외부 테두리들을 둘러싸도록 구성된 내부 테두리들을 구비하는 하우징;을 포함하고,상기 하우징의 내부 테두리들 중 인접하는 내부 테두리들이 만나는 부분에 복수 개의 홈들이 형성되고, 상기 기판의 외부 테두리들 중 인접하는 테두리들이 만나는 부분들의 각각은 상기 복수 개의 홈들의 각각에 위치하고,상기 압전 소자는 설정 길이의 플레이트 형상을 구비하고, 상기 압전 소자에 설정 신호가 인가되면 상기 압전 소자가 기계적으로 진동하도록 상기 압전 소자는 길이 방향으로 수축 또는 팽창하고, 상기 압전 소자가 길이 방향으로 수축하면 상기 기판의 외곽의 표면에는 압축력이 작용하고, 상기 압전 소자가 길이 방향으로 팽창하면 상기 기판의 외곽의 표면에는 인장력이 작용하고, 상기 압전 소자의 기계적인 진동이 상기 기판의 외곽의 표면에 전달됨에 따라 상기 미러가 상기 적어도 하나 이상의 회전축에 대하여 회전하는 스캐닝 마이크로 미러
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제1항에 있어서,상기 압전 소자는 단일의 압전 소자이고,설정 공진 주파수를 가지는 단일의 신호가 상기 단일의 압전 소자에 인가되면 상기 미러는 1개의 축에 대하여 회전하고, 서로 다른 설정 공진 주파수들을 가지는 서로 다른 신호들이 상기 단일의 압전 소자에 인가되면 상기 미러는 2개의 축에 대하여 회전하는 스캐닝 마이크로 미러
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제1항에 있어서,상기 압전 소자는 상기 기판에 대하여 수평 방향, 수직 방향 또는 사선 방향으로 상기 기판의 외곽에 설치되는 스캐닝 마이크로 미러
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스캐닝 마이크로 미러에 있어서,적어도 하나 이상의 회전축을 구비하는 미러가 회전 가능하게 설치된 기판; 및상기 기판의 외곽에 설치되는 압전 소자;를 포함하고,상기 압전 소자는 설정 길이의 플레이트 형상을 구비하고, 상기 압전 소자에 설정 신호가 인가되면 상기 압전 소자가 기계적으로 진동하도록 상기 압전 소자는 길이 방향으로 수축 또는 팽창하고, 상기 압전 소자의 기계적인 진동이 상기 기판의 외곽의 표면에 전달됨에 따라 상기 미러가 상기 적어도 하나 이상의 회전축에 대하여 회전하고,상기 스캐닝 마이크로 미러는 상기 기판을 고정하며 상기 기판을 이루는 외부 테두리들을 둘러싸도록 구성된 내부 테두리들을 구비하는 하우징을 더 포함하고,상기 하우징의 내부 테두리들 중 인접하는 내부 테두리들이 만나는 부분에 복수 개의 홈들이 형성되고, 상기 기판의 외부 테두리들 중 인접하는 테두리들이 만나는 부분들의 각각은 상기 복수 개의 홈들의 각각에 위치하는 스캐닝 마이크로 미러
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제4항에 있어서,상기 하우징의 내부 테두리들의 각각은 상기 기판의 외부 테두리들의 각각의 일부와 오버랩되도록 구성되는 스캐닝 마이크로 미러
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제5항에 있어서,상기 기판의 외부 테두리들의 각각은,상기 하우징의 내부 테두리들의 각각의 일부와 오버랩되는 오버랩 부분; 및상기 하우징의 내부 테두리들의 각각의 나머지와 오버랩되지 않는 비-오버랩 부분;을 포함하는 스캐닝 마이크로 미러
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제1항에 있어서,상기 압전 소자와 상기 기판에 각각 접촉하고 상기 압전 소자와 상기 기판 사이를 매개하는 매개층을 더 포함하고,상기 매개층은 접착 물질을 포함하는 스캐닝 마이크로 미러
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제1항에 있어서,상기 미러는 금속을 포함하는 절연층, 산화 금속을 포함하는 절연층 또는 금속과 산화 금속이 상기 미러의 표면에 반복적으로 증착된 복수 개의 절연층들을 포함하는 스캐닝 마이크로 미러
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1개의 회전축 또는 2개의 회전축들을 구비하는 미러;상기 미러가 회전 가능하게 연결된 적어도 하나 이상의 김블;상기 미러와 상기 김블이 회전 가능하게 설치된 기판;상기 기판에 설치되는 플레이트 형상의 단일의 압전 소자; 및상기 기판을 고정하며 상기 기판을 이루는 외부 테두리들을 둘러싸도록 구성된 내부 테두리들을 구비하는 하우징;을 포함하고,상기 하우징의 내부 테두리들 중 인접하는 내부 테두리들이 만나는 부분에 복수 개의 홈들이 형성되고, 상기 기판의 외부 테두리들 중 인접하는 테두리들이 만나는 부분들의 각각은 상기 복수 개의 홈들의 각각에 위치하고,상기 압전 소자에 설정 신호가 인가되면, 상기 압전 소자가 일 방향으로 기계적으로 진동함에 따라 상기 압전 소자가 길이 방향으로 수축 또는 팽창하고, 상기 압전 소자가 길이 방향으로 수축하면 상기 기판의 외곽의 표면에는 압축력이 작용하고, 상기 압전 소자가 길이 방향으로 팽창하면 상기 기판의 외곽의 표면에는 인장력이 작용하고, 상기 미러가 상기 미러의 1개의 회전축에 대하여 회전하거나 상기 미러의 2개의 회전축들에 대하여 각각 회전하는 스캐닝 마이크로 미러
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제9항에 있어서,상기 압전 소자는 상기 기판의 내부의 표면에 설치되는 스캐닝 마이크로 미러
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제9항에 있어서,상기 압전 소자는 상기 기판의 외곽의 표면에 박막 형태로 설치되는 스캐닝 마이크로 미러
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제9항에 있어서,상기 압전 소자는 상기 기판의 일 측으로부터 타 측으로 가로질러 상기 기판의 외곽에 설치되는 스캐닝 마이크로 미러
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