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유기금속 전구체를 이용한 윤활부품 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2019015659
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 윤활부품 박막 제조방법을 제공한다. 더욱 상세하게는, 윤활부품을 반응기 내부에 배치하는 단계, 상기 윤활부품 상에 운반기체에 의해 운반되는 액상의 유기금속전구체 및 반응가스를 주입하는 단계 및 상기 윤활부품 상에 플라즈마 화학기상증착공정법을 수행하여 금속탄화물, 금속질화물 및 탄소복합체를 포함하는 복합박막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 유기금속전구체는 금속원소, 질소원소 및 탄소원소를 포함하는 것을 특징으로하는 제조방법을 제공하고 상기 박막을 코팅한 엔진제품은 고경도, 밀착성, 윤활제에 대한 내마모성효과를 가져올 수 있다.
Int. CL C23C 16/30 (2006.01.01) C23C 16/50 (2006.01.01) C23C 16/32 (2006.01.01) C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/26 (2006.01.01)
CPC C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01)
출원번호/일자 1020180010812 (2018.01.29)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0091803 (2019.08.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용기 경기 안산시 상록구
2 최유리 인천 부평구
3 전예슬 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0101050-99
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.02.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0105679-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0704257-45
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1245739-38
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1245727-91
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0297988-89
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0548567-45
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.05.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0548558-34
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0425870-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
윤활부품을 반응기 내부에 배치하는 단계;상기 윤활부품 상에 운반기체에 의해 운반되는 액상의 유기금속전구체 및 반응가스를 주입하는 단계; 및상기 윤활부품 상에 플라즈마 화학기상증착공정법을 수행하여 금속탄화물, 금속질화물 및 탄소복합체를 포함하는 단일층으로 구성된 복합박막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 유기금속전구체는 금속원소, 질소원소 및 탄소원소를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 복합박막을 형성하는 단계에서 상기 운반기체 및 상기 반응가스와 상기 유기금속전구체 반응을 통해 금속탄화물, 금속질화물 및 탄소복합체를 동시에 석출하여 나노결정화되어 복합박막을 형성하는 것을 특징으로 하고,상기 복합박막의 금속함유량은 20 at% 내지 50 at%인 것을 특징으로 하고,상기 유기금속전구체는 전이금속에 butylimido그룹과 dimethylamido그룹이 화학적으로 결합된 화합물인 것을 특징으로 하고, 상기 플라즈마 화학기상증착공정법의 공정압력은 5mTorr 내지 50mTorr 인 것을 특징으로 하고,상기 플라즈마 화학기상증착공정법의 공정온도는 200℃이하인 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 화합물은 bis(tert-butylimido) bis(dimethylamido) molybdenum (TBDMMo) 또는 bis(tert-butylimido) bis(dimethylamido) tugsten을 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 운반기체는 아르곤 또는 수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 반응가스는 질소, 아세틸렌 또는 수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 금속탄화물은 MoC 또는 Mo2C 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 금속질화물은 MoN또는 Mo2N을 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
8 8
제1항에 있어서상기 탄소복합체는 고경도 탄소(DLC: Diamond Like Carbon), -C(CH3), -(CH3) 또는 -CH를 포함하는 것을 특징으로 하는 윤활부품 박막 제조방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원통상부 동우HST 산업소재핵심기술개발사업 자동차 연료전지 금속계 분리판 및 저마찰 부품 적용을 위한 1 m3 이상 대용량 PE-MOCVD 기술개발