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단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법

  • 기술번호 : KST2019015680
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계효과 트랜지스터의 자기조립 방법은 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액을 제조하는 단계; 기재 표면 상에 친수성 채널과 소수성 채널을 포함하는 패턴을 형성하는 단계; 상기 친수성 채널에 이황화 몰리브덴 나노시트를 형성하는 단계; 및 상기 기재 표면 상에 리프트 오프 공정 기반의 금속전극을 형성하는 단계; 를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 29/772 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190007758 (2019.01.21)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2179291-0000 (2020.11.10)
공개번호/일자 10-2019-0092277 (2019.08.07) 문서열기
공고번호/일자 (20201116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180011462   |   2018.01.30
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.21)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이병양 서울특별시 강남구
2 김태완 서울특별시 송파구
3 김현수 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정연 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
2 강일신 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층 혜산빌딩(양재동)(시공특허법률사무소)
3 유광철 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층 (양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
4 백두진 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0074267-00
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0016541-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0152548-03
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2020-0433315-94
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0433294-12
8 등록결정서
Decision to grant
2020.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0751634-60
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번호 청구항
1 1
친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액을 제조하는 단계;기재 표면 상에 친수성 채널과 소수성 채널을 포함하는 패턴을 형성하는 단계;상기 친수성 채널에 이황화 몰리브덴 나노시트를 형성하는 단계; 및상기 기재 표면 상에 금속전극을 형성하는 단계;를 포함하되,상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액을 제조하는 단계는,이황화 몰리브덴 플레이크를, 벤젠고리의 일단에 카르복시(-COOH)기가 결합되고 타단에 싸이올(-SH)기가 결합된 벤조산과 반응시켜 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크를 형성하는 단계를 포함하는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 1항에 있어서,상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액을 제조하는 단계는:이황화 몰리브덴 플레이크를 용매와 혼합하여 혼합용액을 제조하는 단계;상기 혼합용액에 탈 이온수를 첨가하여 기 설정된 시간 동안 초음파 처리하는 단계;상기 초음파 처리된 혼합용액에 머캅토벤조산(MPB)을 첨가하여 기 설정된 시간 동안 초음파 처리하는 단계;상기 초음파 처리된 혼합용액을 원심분리하는 단계; 및상기 원심분리된 혼합용액의 상층액을 탈 이온수에 분산시켜 상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액을 제조 단계;를 포함하는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 2항에 있어서,상기 용매는 헥산에 n-부틸리튬이 혼합된 용매인 것을 특징으로 하는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 1항에 있어서,상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크는, 상기 이황화 몰리브덴 플레이크의 단원자층에서 황 원자가 떨어져 나간 원자결함으로 인해 생성되는 공공에 상기 벤조산의 싸이올(-SH)기가 결합되어 형성되는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 1항에 있어서,상기 패턴을 형성하는 단계는:상기 기재 표면 상에 감광 고분자 화합물을 패턴화하는 단계;기재를 트리클로로옥타데실실란(OTS)과 헥산을 혼합한 용액에 기 설정된 시간 동안 침지시키는 단계;상기 트리클로로옥타데실실란(OTS)이 상기 기재 표면 상에 자기조립단층을 이루어 상기 소수성 채널을 형성하는 단계; 및상기 감광 고분자 화합물을 아세톤으로 제거하여 상기 친수성 채널을 형성하는 단계;를 포함하는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 4항에 있어서,상기 기재 표면 상에 상기 친수성 채널은 수산(-OH)기를 가지는 것을 특징으로 하는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 1항에 있어서,상기 이황화 몰리브덴 나노시트를 형성하는 단계는:상기 기재를 상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액에 침지시키는 단계;상기 침지된 기재를 상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 현탁액으로부터 기 설정된 속도로 잡아 당기는 단계;상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크가 상기 친수성 채널에 흡착되어 상기 이황화 몰리브덴 나노시트를 형성하는 단계; 및상기 당겨진 기재 표면 상에 디클로로 벤젠과 탈 이온수를 교대로 도포하는 단계;를 포함하는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 6항에 있어서,상기 이황화 몰리브덴 나노시트는 상기 친수성 이황화 몰리브덴 플레이크 기반 자기조립단층으로 이루어지는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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제 6항에 있어서,상기 친수성 채널의 크기에 따라 상기 이황화 몰리브덴 나노시트의 폭이 조절되도록 이루어지는 단일 및 다중 층 이황화 몰리브덴 나노시트 기반의 전계 효과 트랜지스터의 자기조립 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울대학교 산학협력단 및 고려대학교 산학협력단 융합연구(공통) 나노-바이오 융합 기술 기반 염증성 장질환 치료 평가 플랫폼 개발