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내부 공간이 밀폐되는 방전 케이스;상기 방전 케이스 내부에 배치되며 스파크 방전을 통해 입자를 발생시킬 수 있도록 서로 대응되는 다수개의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 서로 대향되게 각각 장착되는 양극 카트리지 및 음극 카트리지;다수개의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드 중 서로 대응되는 어느 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 기준 위치에서 서로 대향되게 이격 배치되도록 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지를 각각 이동시키는 카트리지 이송부;별도의 전원 공급 유닛으로부터 공급되는 전원이 상기 카트리지 이송부에 의해 기준 위치에 대향 배치된 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드에 선택적으로 공급되도록 하는 스위치 수단; 및상기 기준 위치에 대향 배치된 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드를 제외한 나머지 중 적어도 일부의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드를 세척할 수 있도록 형성되어 상기 방전 케이스 내부 공간에 장착되는 세척 수단을 포함하고, 상기 기준 위치에 대향 배치된 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드 사이에서 스파크 방전을 통해 입자가 발생되는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 1 항에 있어서,상기 기준 위치에 대향 배치된 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 시간 경과에 따라 교체되도록 상기 카트리지 이송부를 동작 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 2 항에 있어서,상기 기준 위치에 대향 배치된 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드의 이격 공간으로 이송 기체를 공급할 수 있도록 상기 방전 케이스에 결합되는 기체 공급관; 및상기 기준 위치에 대향 배치된 한 쌍의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드 사이에서 스파크 방전을 통해 발생된 입자가 상기 이송 기체와 함께 유입되어 배출되도록 상기 방전 케이스에 결합되는 입자 배출관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 3 항에 있어서,상기 입자 배출관에는 배출되는 입자량을 측정할 수 있는 입자 측정 센서가 구비되고, 상기 제어부는 상기 입자 측정 센서의 측정값을 인가받고, 인가받은 측정값에 따라 상기 카트리지 이송부를 동작 제어하는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 1 항에 있어서,상기 카트리지 이송부는 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지에 장착된 다수개의 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 상기 세척 수단에 의해 세척된 이후 상기 기준 위치에 대향 배치되도록 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지를 이송시키는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 1 항에 있어서,상기 세척 수단은상기 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 상기 기준 위치로부터 멀어지는 방향으로 이동하는 과정에서 내부 공간으로 인입되도록 형성되는 세척 챔버; 및상기 세척 챔버 내부에 장착되어 상기 세척 챔버 내부 공간으로 인입된 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드의 상호 대향되는 표면의 이물질을 제거하는 이물질 제거기를 포함하는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 6 항에 있어서,다수개의 상기 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드는 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지에 각각 원주 방향을 따라 이격되게 배치되고, 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지는 다수개의 상기 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 원주 방향을 따라 공전 회전할 수 있도록 상기 방전 케이스 내부의 양측에 각각 회전 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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제 6 항에 있어서,다수개의 상기 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드는 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지에 각각 상호 이격되게 일렬 배치되고, 상기 양극 카트리지 및 음극 카트리지는 다수개의 상기 양극 전극 로드 및 음극 전극 로드가 일렬 배치 방향을 따라 직선 이동할 수 있도록 상기 방전 케이스 내부의 양측에 각각 직선 이동 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 스파크 방전 입자 발생기
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