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광을 그레이팅 필터와 대물렌즈를 통과시켜 광의 세기값이 0을 포함하지 않고 광의 세기값이 완전한 사인 파형을 가지는 구조조영을 형성하는 구조조영 형성단계;측정대상물의 높이방향을 따라 정해진 간격에 맞추어 상기 구조조영이 투영된 측정대상물을 촬상한 구조조영 이미지와 상기 구조조영이 아닌 일반광이 조사된 측정대상물을 촬상한 균일조영 이미지를 각각 획득하는 이미지 획득단계;각각의 높이에서 상기 구조조영 이미지와 상기 균일조영 이미지를 이용하여 하이로우(HiLo) 이미지를 생성하는 하이로우 이미지 생성단계;상기 복수의 하이로우 이미지에 대해 높이방향을 따라 평면상 동일 지점에 위치하는 픽셀이 가지는 높이별 세기값(Intensity)을 각각 추출하여, 가장 큰 세기값을 가지는 높이를 측정대상물의 표면위치로 결정하는 표면위치 결정단계; 및획득된 표면위치를 이용하여 측정대상물의 3D 프로파일을 생성하는 프로파일 생성단계;를 포함하고,상기 표면위치 결정단계는,추출된 높이별 세기값에 대해 커브피팅(Curve Fitting)을 수행하고, 커브피팅된 곡선상에서 가장 큰 세기값을 가지는 지점에 대응되는 높이를 상기 측정대상물의 표면위치로 결정하되,상기 높이별 세기값이 추출된 높이들 중 가장 큰 세기값을 가지는 높이를 최대 세기값 높이로 선정하고, 상기 최대 세기값 높이에서의 세기값과 상기 최대 세기값 높이의 상하에 인접하고 미리 정해진 수량의 복수의 높이에서의 세기값을 가지고 상기 커브피팅이 수행되는 것을 특징으로 하는 3차원 프로파일 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 구조조영 형성단계는,상기 사인 파형을 가지는 구조조영을 형성하기 위하여 상기 그레이팅 필터의 패턴 피치를 조정하는 것을 특징으로 하는 3차원 프로파일 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 구조조영 형성단계는,상기 사인 파형을 가지는 구조조영을 형성하기 위하여 상기 대물렌즈의 배율 또는 개구수를 조정하는 것을 특징으로 하는 3차원 프로파일 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 사인 파형을 가지는 구조조영의 콘트라스트는 0
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제1항에 있어서,3D 프로파일이 미리 알려진 표준측정대상물에 대해 상기 구조조영 형성단계, 상기 이미지 획득단계, 상기 하이로우 이미지 생성단계, 상기 표면위치 결정단계 및 상기 프로파일 생성단계를 거치며 3D 프로파일을 재생성하고,재생성된 3D 프로파일과 미리 알려진 3D 프로파일 간에 오차가 발생하는 경우, 측정 장치의 동작특성으로 인한 오차임을 판단하고, 측정대상물의 3D 프로파일에 대해 상기 오차를 보정해 주는 측정오차 보정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 프로파일 측정 방법
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제1항에 있어서,측정대상물의 3D 프로파일이 수평기준면으로부터 일정 경사각을 유지하는 경우, 측정대상물의 측정위치가 불량임을 판단하고, 상기 경사각을 제로화시키는 레벨링 보정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 프로파일 측정 방법
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