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기체분리막에 대해 일정 투과성을 갖는 기체인 대상유체를 분리하는 기체분리막 세정 장치에 있어서, 유입라인; 일단이 상기 유입라인에 연결되며, 상기 유입라인으로부터 상기 대상유체를 유입받아 기체분리막 투과성 유무에 따라 상기 대상유체를 투과 유체와 불투과 유체로 분리시키는 하나 이상의 분리부; 상기 분리부의 타단에 연결되며, 상기 불투과 유체를 외부로 유출시키는 제1 유출라인; 및상기 분리부의 일측에 연결되며, 상기 투과 유체를 외부로 유출시키는 제2 유출라인;을 포함하되, 상기 제2 유출라인에 연결되어 상기 제2 유출라인과 공유라인 구간인 제1 공유라인 구간을 가지며, 상기 분리부로 상기 대상유체보다 상기 기체분리막에 대해 투과성이 높은 기체인 세정가스의 유입을 위한 제1 세정라인-상기 제1 공유라인 구간을 따라 상기 세정가스는 상기 투과 유체의 유출 방향과 반대되는 방향으로 유입됨-; 및 상기 제1 유출라인에 연결되어 상기 제1 유출라인과 공유라인 구간인 제2 공유라인 구간을 가지며, 상기 분리부로부터 상기 기체분리막을 통과한 상기 세정가스의 유출을 위한 제2 세정라인-상기 제2 공유라인 구간을 따라 상기 세정가스는 상기 불투과 유체의 유출 방향과 동일한 방향으로 유출됨-;을 더 포함하는, 기체분리막 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 세정가스는 상기 투과 유체의 유출 방향과 반대방향으로 상기 분리부로 유입되어 상기 기체분리막을 역세하는, 기체분리막 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 유입라인에 배치되는 제1 밸브; 상기 제1 유출라인에 배치되는 제2 밸브; 상기 제2 유출라인에 배치되는 제3 밸브;상기 제1 세정라인에 배치되는 제4 밸브; 상기 제2 세정라인에 배치되는 제5 밸브; 및 상기 밸브들과 연결되어 상기 밸브들의 개폐를 제어하는 제어부;를 더 포함하되, 상기 제어부는, 상기 대상유체의 기체분리가 진행되는 제1 상태에서 상기 제1 밸브, 제2 밸브 및 제3 밸브를 개방 및 상기 제4 밸브 및 제5 밸브를 폐쇄하고, 상기 기체분리막의 세정이 진행되는 제2 상태에서 상기 제1 밸브, 제2 밸브 및 제3 밸브를 폐쇄 및 상기 제4 밸브 및 제5 밸브를 개방하는, 기체분리막 세정 장치
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제3항에 있어서, 상기 유입라인에 배치되어 내부 유체의 압력을 측정하는 제1 압력계; 상기 제1 유출라인에 배치되어 내부 유체의 압력을 측정하는 제2 압력계; 및 상기 제2 유출라인에 배치되어 내부 유체의 압력을 측정하는 제3 압력계;를 더 포함하되, 상기 제어부는 상기 압력계들과 연결되어 상기 압력계들의 측정값들을 수신하고, 상기 측정값들에 기초하여 상기 밸브들의 개폐를 제어하는, 기체분리막 세정 장치
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제4항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제1 상태에서 상기 제1 압력계에 의해 측정된 상기 대상유체의 유입 압력을 상기 제2 압력계에 의해 측정된 상기 불투과 유체의 유출 압력 및 상기 제3 압력계에 의해 측정된 상기 투과 유체의 유출 압력의 합과 비교하여 기설정된 범위 이상의 차이를 갖는 경우 상기 제2 상태로 전환하는, 기체분리막 세정 장치
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제4항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제2 상태에서 상기 제2 압력계에 의해 측정된 상기 세정가스의 유출 압력과 상기 제3 압력계에 의해 측정된 상기 세정가스의 유입 압력의 차이가 기설정된 범위 내로 들어오는 경우 상기 제1 상태로 전환하는, 기체분리막 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 세정가스는 상기 대상유체보다 상기 기체분리막에 대해 투과성이 높은 기체로서 상기 기체분리막 표면의 오염층을 제거하는, 기체분리막 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 세정가스는 산화력이 높은 기체로서 상기 기체분리막 표면의 오염층을 제거하는, 기체분리막 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 유입라인에 연결되며 상기 분리부로 세정물질 또는 세정가스의 유입을 위한 제3 세정라인;을 더 포함하는, 기체분리막 세정 장치
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유입라인으로부터 기체분리막에 대해 일정 투과성을 갖는 기체인 대상유체를 유입받아 기체분리막 투과성 유무에 따라 상기 대상유체를 투과 유체와 불투과 유체로 분리시키는 하나 이상의 분리부, 상기 분리부의 타단에 연결되며 상기 불투과 유체를 외부로 유출시키는 제1 유출라인, 상기 분리부의 일측에 연결되며 상기 투과 유체를 외부로 유출시키는 제2 유출라인, 상기 제2 유출라인에 연결되어 상기 제2 유출라인과 공유라인 구간인 제1 공유라인 구간을 가지며, 상기 분리부로 세정가스의 유입을 위한 제1 세정라인, 및 상기 제1 유출라인에 연결되어 상기 제1 유출라인과 공유라인 구간인 제2 공유라인 구간을 가지며, 상기 분리부로부터 상기 세정가스의 유출을 위한 제2 세정라인을 포함하는 기체분리막 세정 장치의 기체분리막 세정 방법에 있어서, 상기 기체분리막의 세정이 필요한지를 판단하고, 판단 결과 세정이 필요한 경우, 상기 분리부로 유입 및 상기 기체분리막을 통과한 이후 상기 분리부로부터 유출되는 상기 세정가스를 이용하여 세정하되, 상기 세정가스는 상기 대상유체보다 상기 기체분리막에 대해 투과성이 높은 기체이며, 상기 세정가스가 상기 분리부로 유입될 때에는 상기 제1 공유라인 구간을 따라 상기 분리된 투과 유체의 유출 방향과 반대되는 방향으로 유입되고, 상기 세정가스가 상기 기체분리막을 통과한 이후 상기 분리부로부터 유출될 때에는 상기 분리된 불투과 유체의 유출 방향과 동일한 방향으로 유출되는, 기체분리막 세정 방법
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제10항에 있어서, 상기 판단하는 단계는, 상기 대상유체의 유입을 위한 유입라인에 배치되어 내부 유체의 압력을 측정하는 제1 압력계, 상기 불투과 유체를 외부로 유출시키는 제1 유출라인에 배치되어 내부 유체의 압력을 측정하는 제2 압력계, 및 상기 투과 유체를 외부로 유출시키는 제2 유출라인에 배치되어 내부 유체의 압력을 측정하는 제3 압력계 각각의 측정값들에 기초하여 판단하는, 기체분리막 세정 방법
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제11항에 있어서, 상기 세정하는 단계는, 상기 유입라인에 배치되는 제1 밸브, 상기 제1 유출라인에 배치되는 제2 밸브, 상기 제2 유출라인에 배치되는 제3 밸브, 상기 세정가스의 유입을 위한 제1 세정라인에 배치되는 제4 밸브, 및 상기 세정가스의 유출을 위한 제2 세정라인에 배치되는 제5 밸브 각각의 개폐를 제어하여 상기 세정가스를 유입 및 유출시키는, 기체분리막 세정 방법
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