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서로 연결되는 정렬된 기공을 포함하는 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계; 및염료 0
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제1항에 있어서, 상기 염료는, 코발트 티오시아네이트(cobalt thiocyannate), 바나듐 설페이트(vanadium sulate), 벤지딘(benzidine), 페놀프탈레인(phenolphthalein), o-톨리딘(o-tolidine), 루코말라카이트 그린(leucomalachite green), 테트라메틸벤디진(tetramethylbenzidine) 및 3,3'-디히드록실벤지딘(3,3' dihydroxybenzidine)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 극성 용매는 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계는,기판 상에 포토레지스트 막을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트 막을 패터닝하여 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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서로 연결되는 정렬된 기공을 포함하는 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계; 및염료, 제1 용매 및 상기 제1 용매보다 점도가 높고 계면 에너지가 낮은 제2 용매를 포함하는 염료 용액을 상기 3차원 다공성 지지체에 제공하여, 염료를 코팅하는 단계를 포함하고,상기 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계는,기판 상에 포토레지스트 막을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 막을 패터닝하여 고분자를 포함하는 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계;상기 고분자를 포함하는 3차원 다공성 지지체를 탄화 또는 물질변환하여 탄소계 구조체로 변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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서로 연결되는 정렬된 기공을 포함하는 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계; 및염료, 제1 용매 및 상기 제1 용매보다 점도가 높고 계면 에너지가 낮은 제2 용매를 포함하는 염료 용액을 상기 3차원 다공성 지지체에 제공하여, 염료를 코팅하는 단계를 포함하고,상기 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계는,기판 상에 포토레지스트 막을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 막을 패터닝하여 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계;상기 3차원 다공성 주형을 충진하는 단계; 및상기 3차원 다공성 주형을 제거하여, 상기 3차원 다공성 주형의 역상을 갖는 3차원 다공성 지지체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 3차원 다공성 지지체는, 세륨 산화물(CeO2), 알루미늄 산화물(Al2O3), 티타늄 산화물(TiO2), 티타늄 질화물(TiN), 지르코늄 산화물(ZrO2) 및 아연 산화물(ZnO)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 3차원 다공성 지지체는, 금, 은, 백금, 팔라듐, 루테늄, 로듐, 이리듐, 바나듐, 니켈, 코발트, 구리, 텅스텐, 몰리브덴, 망간, 알루미늄 및 철로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 색변화 센서의 제조 방법
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