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금속 전구체 및 극성 유기 용매를 포함하는 금속 전구체 용액을 형성하는 단계;상기 금속 전구체 용액에 킬레이트 착화제 및 칼코겐 전구체를 순차적으로 첨가하여 금속-칼코겐 용액을 제조하는 단계;상기 금속-칼코겐 용액을 기판 상에 도포하는 단계; 및상기 기판 상에 도포된 상기 금속-칼코겐 용액을 소결하여 금속-칼코겐 박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 칼코겐 전구체는 칼코겐 원자와 탄소 원자의 이중결합을 함유하는 유기 칼코겐 화합물을 포함하는 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속-칼코겐 용액을 제조하는 단계는 20 ℃ 이상 80 ℃ 이하의 온도에서 수행되는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속 전구체와 상기 칼코겐 전구체의 몰 비는 1:0
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청구항 1에 있어서,상기 금속 전구체의 농도는 0
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청구항 1에 있어서,상기 칼코겐 전구체의 농도는 0
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청구항 1에 있어서,상기 금속 전구체와 상기 킬레이트 착화제의 몰 비는 1:0
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청구항 1에 있어서,상기 칼코겐 전구체는 하기 화학식 1로 표시되는 유기 칼코겐 화합물을 포함하는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법:[화학식 1]상기 화학식 1에서,Q는 황, 셀레늄 또는 텔루륨 원자이고,R1, R2, R3, 및 R4는 각각 독립적으로 수소 원자; 치환 또는 비치환된, 직쇄 또는 분지쇄의 C1-C30 알킬기; 치환 또는 비치환된 C6-C30 아릴기이다
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청구항 1에 있어서,상기 칼코겐 전구체는 하기 화학식 2로 표시되는 유기 칼코겐 화합물을 포함하는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법:[화학식 2]상기 화학식 2에서,Q는 황, 셀레늄 또는 텔루륨 원자이고,R5, R6, 및 R7은 각각 독립적으로 수소 원자; 치환 또는 비치환된, 직쇄 또는 분지쇄의 C1-C30 알킬기; 치환 또는 비치환된 C6-C30 아릴기이다
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청구항 1에 있어서,상기 킬레이트 착화제는 에탄올 아민, 에틸렌 다이아민, 디에틸렌 트리아민, 아세틸 아세톤 및 이들의 유도체 중 적어도 1 종을 포함하는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 극성 유기 용매는 다이메틸설폭사이드, N,N,-다이메틸포름아마이드, N-메틸포름아마이드, 메톡시 프로판올, 메톡시 에탄올, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 아이소 프로판올, 알킬아민, 다이알킬아민, 트리알킬아민 및 이들의 유도체 중 적어도 1 종을 포함하는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속-칼코겐 박막을 제조하는 단계는 상기 금속-칼코겐 용액을 열처리, 마이크로웨이브 처리, 플래시 램프 처리 또는 자외선 처리하여 소결하는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속-칼코겐 박막을 형성하는 단계는 금속-칼코겐 용액을 200 ℃ 내지 500 ℃로 1 시간 이상 열처리하는 것인 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재의 제조 방법
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청구항 1에 따른 제조 방법으로 제조된 금속-칼코겐 박막이 구비된 전자 부재를 포함하는 전자 소자
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