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Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019016308
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 3차원 혼합기를 이용하여 Cr 분말 및 Al 분말로부터 Cr-Al 혼합물을 제조하는 단계; 및 (b) 상기 Cr-Al 혼합물을 1200℃ 내지 1500℃에서 열간 등방 가압시키는 단계를 포함하는 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 지르코늄 합금 모재의 내산화성 및 내마모성을 향상시키는 방법에 관한 것이다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/16 (2006.01.01) C23C 14/32 (2006.01.01) B22F 3/15 (2006.01.01) B22F 1/00 (2006.01.01) C22C 27/06 (2006.01.01) C22F 1/11 (2006.01.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020180127376 (2018.10.24)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-2011141-0000 (2019.08.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.24)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현길 대전광역시 유성구
2 최병권 대전광역시 서구
3 이영호 대전광역시 유성구
4 정양일 대전광역시 유성구
5 박동준 대전광역시 유성구
6 박정환 대구광역시 수성구
7 김일현 세종특별자치시 나리

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1050668-32
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2019.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0274632-08
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0316668-51
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0674382-59
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0674383-05
6 등록결정서
Decision to grant		 2019.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0570192-11
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번호 청구항
1 1
(a) 3차원 혼합기를 통해 Cr 분말 및 Al 분말을 3차원 공간에서 혼합하여 Cr-Al 혼합물을 제조하는 단계; 및 (b) 상기 Cr-Al 혼합물을 1300℃ 내지 1500℃에서 열간 등방 가압시키는 단계를 포함하고,상기 (a) 단계에서 Cr 분말의 크기는 10~63 ㎛ 이고, Al 분말의 크기는 56~150 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 체심입방격자(BCC) 구조의 단일상인 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 (a) 단계에서 Cr 분말 및 Al 분말의 중량비는 80:20 내지 95:5인 것을 특징으로 하는 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 (a) 단계에서 3차원 혼합기는 10 rpm 내지 50 rpm의 속도로 1시간 내지 10시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 (b) 단계에서 열간 등방 가압은 100 MPa 내지 110 Mpa의 압력 하에 1시간 내지 10시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟의 제조방법
6 6
제1항에 따른 방법으로 제조된 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서,상기 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟은 AlCr2, βAl8Cr5, αAl8Cr5, γAl8Cr4, βAl8Cr4, Al4Cr, Al11Cr2 및 Al7Cr로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속간 화합물이 생성되지 아니한 것을 특징으로 하는Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟
9 9
제6항에 있어서,상기 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟의 융점은 1600℃ 내지 1800℃인 것을 특징으로 하는 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟
10 10
제6항에 있어서,상기 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟은 물리적 증착법에 적용하기 위한 것을 특징으로 하는 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟
11 11
(a) 제1항에 따른 방법으로 Cr-Al 2원계 합금 스퍼터링 타겟을 제조하는 단계; 및(b) Zr 합금 모재 상에 상기 타겟을 물리적 증착법으로 증착시켜 Cr-Al 2원계 합금 박막을 제조하는 단계를 포함하는 지르코늄 합금 모재의 내산화성 및 내마모성을 향상시키는 방법
12 12
제11항에 있어서,상기 물리적 증착법은 30A 내지 120A의 전류 및 100V 내지 250V의 바이어스 전압을 인가하는 아크 이온 플레이팅인 것을 특징으로 하는 지르코늄 합금 모재의 내산화성 및 내마모성을 향상시키는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국원자력연구원 원자력연구개발사업 사고저항성 핵연료 피복관 기술 개발