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첨가제를 포함하는 고불소화 포토레지스트용 불소계 현상 용매 및 이를 이용한 유기 발광 다이오드 디스플레이 제조방법

  • 기술번호 : KST2019016420
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실라잔(silazane) 유도체 또는 하이드로실란(hydrosilane) 유도체 중 어느 하나 이상을 포함하는 불소계 현상 용제용 첨가제, 이를 포함하는 불소계 현상 용매, 이를 이용한 유기 발광 다이오드 디스플레이 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 첨가제를 포함하는 현상 용매를 이용하여 현상 공정을 수 행하는 경우, 순수한 불소 용제만 사용한 현상 공정 대비 하부 박막에 대한 손상이 최소화되고, 유기 발광 다이오드의 안정적인 구동을 이끌어낼 수 있을 뿐만 아니라 성능도 향상되며, 반복적인 포토 리소그라피 공정을 통해 다색 유기 발광 다이오드 디스플레이를 제조할 수 있다.
Int. CL G03F 7/32 (2006.01.01) C07F 7/10 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01)
CPC G03F 7/32(2013.01) G03F 7/32(2013.01) G03F 7/32(2013.01)
출원번호/일자 1020180015746 (2018.02.08)
출원인 인하대학교 산학협력단, 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2079016-0000 (2020.02.13)
공개번호/일자 10-2019-0096145 (2019.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20200219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.08)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
2 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진균 인천광역시 연수구
2 손종찬 경기도 오산시 오산로***번길 **,
3 정병준 서울특별시 성동구
4 채승근 충청남도 아산시
5 배준한 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
2 서울시립대학교 산학협력단 서울특별시 동대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0140836-16
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0647013-41
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1072527-53
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-1072528-09
8 등록결정서
Decision to grant
2020.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0103592-64
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번호 청구항
1 1
실라잔(silazane) 유도체와 하이드로실란(hydrosilane) 유도체를 포함하며,상기 실라잔 유도체는 하기 화학식 1-1로 표시되고,상기 하이드로실란 유도체는 하기 화학식 2-2로 표시되는 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용제용 첨가제:[화학식 1-1][화학식 2-2]
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 첨가제는 불소계 현상 용매 100 부피%에 대하여 0
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 불소 원자의 수가 수소 원자의 수보다 많은 액상의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용제용 첨가제
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 하이드로플루오로에터(hydrofluoroether)계 화합물 또는 퍼플루오로카본(Perfluorocarbons)계 화합물인 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용제용 첨가제
9 9
제 1 항 내지 제 2 항, 제 7 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 불소계 현상 용제용 첨가제 및 불소계 현상 용제를 포함하는 불소계 현상 용매
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 불소 원자의 수가 수소 원자의 수보다 많은 액상의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용매
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 하이드로플루오로에터(hydrofluoroether)계 화합물 또는 퍼플루오로카본(Perfluorocarbons)계 화합물인 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용매
12 12
제 9 항에 따른 불소계 현상 용매를 현상 단계에서 사용하여 제조된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이
13 13
제 9 항에 따른 불소계 현상 용매를 사용한 현상 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 인하대학교산학협력단 산업핵심기술개발사업 고불소계 재료 기반 포토리소그라피 패터닝 공정을 통한 10 μm급 OLED픽셀 제조기술 개발