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실라잔(silazane) 유도체와 하이드로실란(hydrosilane) 유도체를 포함하며,상기 실라잔 유도체는 하기 화학식 1-1로 표시되고,상기 하이드로실란 유도체는 하기 화학식 2-2로 표시되는 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용제용 첨가제:[화학식 1-1][화학식 2-2]
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제 1 항에 있어서, 상기 첨가제는 불소계 현상 용매 100 부피%에 대하여 0
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제 1 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 불소 원자의 수가 수소 원자의 수보다 많은 액상의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용제용 첨가제
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제 7 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 하이드로플루오로에터(hydrofluoroether)계 화합물 또는 퍼플루오로카본(Perfluorocarbons)계 화합물인 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용제용 첨가제
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9
제 1 항 내지 제 2 항, 제 7 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 불소계 현상 용제용 첨가제 및 불소계 현상 용제를 포함하는 불소계 현상 용매
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10
제 9 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 불소 원자의 수가 수소 원자의 수보다 많은 액상의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용매
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제 10 항에 있어서, 상기 불소계 현상 용제는 하이드로플루오로에터(hydrofluoroether)계 화합물 또는 퍼플루오로카본(Perfluorocarbons)계 화합물인 것을 특징으로 하는 불소계 현상 용매
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제 9 항에 따른 불소계 현상 용매를 현상 단계에서 사용하여 제조된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이
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제 9 항에 따른 불소계 현상 용매를 사용한 현상 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이의 제조방법
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