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마이크로 소자가 점착되고 제1얼라인마크가 형성된 전사필름이 흡착되는 제1흡착부; 상기 제1흡착부의 하측에 구비되고, 상기 마이크로 소자가 전사될 타겟기판이 흡착되는 제2흡착부; 상기 타겟기판과 상기 전사필름이 얼라인되도록 상기 제2흡착부의 위치를 정렬하는 정렬부;상기 정렬부 및 상기 제2흡착부를 제1수평방향으로 이송시키는 이송부; 상기 제1수평방향으로의 이송경로 상에 구비되고, 상기 타겟기판에 상기 마이크로 소자가 가점착된 상태로 이송되는 제2흡착부의 상부에서 상기 전사필름을 가압하여 상기 마이크로 소자를 상기 타겟기판에 전사시키는 가압부; 그리고 상기 제1수평방향으로의 이송경로 상에서 상기 가압부의 후단에 구비되고, 상기 전사필름이 상기 가압부를 지나는 지점에서 상측으로 벤딩되어 전사되는 상기 마이크로 소자로부터 분리되도록 상기 전사필름이 상측으로 이동되도록 안내하는 안내부를 포함하는 마이크로 소자 전사장치
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제1항에 있어서, 상기 제1흡착부는 상면에 상기 마이크로 소자가 점착된 상기 전사필름이 흡착되는 제1베드와, 상기 제1베드의 일면에 형성되어 상기 제1베드 및 상기 전사필름 사이에 부압을 제공하는 제1부압제공홈과, 상기 전사필름에 점착된 상기 마이크로 소자가 상기 타겟기판의 상면에 대향되도록 상기 제1베드를 회전시키는 회전부를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
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제2항에 있어서,상기 제1베드는 불투명 소재로 이루어지고, 상기 타겟기판에 형성되는 제2얼라인마크가 상기 제1흡착부의 상측에 구비되는 촬영부에 의해 촬영되도록 상기 제2얼라인마크에 대응되게 형성되는 관통공을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
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제2항에 있어서,상기 제1베드는 투명 소재로 이루어지고, 상기 타겟기판에 형성되는 제2얼라인마크는 상기 제1베드를 투과하여 상기 제1흡착부의 상측에 구비되는 촬영부에 의해 촬영되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
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제1항에 있어서, 상기 제2흡착부는 상기 타겟기판이 안착되도록 상면에 함몰 형성되는 안착홈을 가지는 제2베드와, 상기 마이크로 소자의 제1단자가 상기 안착홈에 안착된 상기 타겟기판의 제2단자에 정위치로 가점착되도록 상기 제2베드의 일면에 형성되어 상기 제2흡착부 및 상기 전사필름 사이에 부압을 제공하는 제2부압제공홈을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
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제1항에 있어서, 상기 안내부는 상하 방향으로 이동되어 상기 가압부에서 벤딩되는 상기 전사필름의 벤딩각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
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마이크로 소자가 점착되고 제1얼라인마크가 형성된 전사필름을 제1흡착부에 흡착시키는 제1흡착단계; 상기 제1흡착부의 하측에 구비되는 제2흡착부에 상기 마이크로 소자가 전사될 타겟기판을 흡착시키는 제2흡착단계; 상기 타겟기판과 상기 전사필름이 얼라인되도록 상기 제2흡착부의 위치를 정렬하는 정렬단계; 상기 제1흡착부를 하강시키고 상기 타겟기판에 상기 마이크로 소자를 가점착시키는 가점착단계; 정렬부 및 상기 제2흡착부를 제1수평방향으로 이송시키는 이송단계; 상기 제1수평방향으로의 이송경로 상에 구비되는 가압부가 상기 가점착된 상태로 이송되는 제2흡착부의 상부에서 상기 전사필름을 가압하여 상기 마이크로 소자를 상기 타겟기판에 전사시키는 전사단계; 그리고 상기 제1수평방향으로의 이송경로 상에서 상기 가압부의 후단에 구비되는 안내부가 상기 전사필름이 상기 가압부를 지나는 지점에서 상기 전사필름이 상측으로 벤딩되어 이동되도록 안내하여, 전사되는 상기 마이크로 소자로부터 상기 전사필름을 분리시키는 분리단계를 포함하는 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 제1흡착단계에서는, 상기 마이크로 소자가 점착된 상기 전사필름을 제1흡착부에 위치시키고, 상기 제1흡착부 및 상기 전사필름 사이에 부압을 제공하여 상기 전사필름을 상기 제1흡착부에 흡착시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 제2흡착단계에서는, 상기 타겟기판을 제2흡착부에 위치시키고, 상기 제2흡착부 및 상기 타겟기판 사이에 부압을 제공하여 상기 타겟기판을 상기 제2흡착부에 흡착시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 정렬단계는 상기 전사필름에 점착된 상기 마이크로 소자가 상기 타겟기판의 상면에 대향되도록 상기 제1흡착부를 회전시키는 회전단계와, 상기 제1흡착부의 상측에 구비되는 촬영부가 상기 제1흡착부를 통해 상기 타겟기판에 형성되는 제2얼라인마크를 촬영하는 촬영단계와, 상기 정렬부가 상기 제2흡착부를 상기 제1수평방향 및 상기 제1수평방향에 수직한 제2수평방향으로 왕복 이동시키고, 상기 제1수평방향에 수직한 수직축을 중심으로 회전시켜, 상기 제2얼라인마크가 상기 제2얼라인마크와 얼라인됨으로써 상기 타겟기판과 상기 마이크로 소자가 정위치되도록 하는 정위치단계를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제10항에 있어서,상기 촬영단계에서, 상기 촬영부는 불투명 소재로 이루어지는 상기 제1흡착부에 형성되는 관통공을 통해 상기 제2얼라인마크를 촬영하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제10항에 있어서,상기 촬영단계에서, 상기 촬영부는 투명 소재로 이루어지는 상기 제1흡착부를 투과하여 상기 제2얼라인마크를 촬영하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제10항에 있어서,상기 가점착단계는 상기 정위치단계 이후에 상기 제1흡착부를 하강시키는 하강단계와, 상기 마이크로 소자의 제1단자가 상기 타겟기판의 제2단자에 정위치되도록 한 상태에서 상기 제2흡착부 및 상기 전사필름 사이에 부압을 제공하여 고정시키는 고정단계를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서, 상기 분리단계에서는 안내부가 상하 방향으로 이동되어 상기 가압부에서 벤딩되는 상기 전사필름의 벤딩각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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