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| 요약 |
본 발명은 소수성 구조체에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 서로 수평적으로 이격되는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 기판; 상기 기판 상의 베이스 패턴, 상기 베이스 패턴은 상기 제1 영역 상의 제1 부분 및 상기 제2 영역 상의 제2 부분을 포함하고; 및 상기 베이스 패턴의 상기 제1 부분을 제외하고 상기 제2 부분 상에만 선택적으로 제공되는 코팅층을 포함한다. 상기 코팅층은 상기 베이스 패턴과 다른 물질을 포함하고, 상기 코팅층에 의해, 상기 제2 영역 상의 표면의 소수성은 상기 제1 영역 상의 표면의 소수성보다 강하다.
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| Int. CL |
C03C 17/00 (2006.01.01) H01L 31/0216 (2014.01.01)
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| CPC |
C03C 17/002(2013.01) C03C 17/002(2013.01) C03C 17/002(2013.01)
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| 출원번호/일자 |
1020180020533
(2018.02.21)
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| 출원인 |
한국전자통신연구원
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| 등록번호/일자 |
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| 공개번호/일자 |
10-2019-0100679
(2019.08.29)
문서열기
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| 공고번호/일자 |
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| 국제출원번호/일자 |
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| 국제공개번호/일자 |
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| 우선권정보 |
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| 법적상태 |
공개 |
| 심사진행상태 |
수리 |
| 심판사항 |
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| 구분 |
신규 |
| 원출원번호/일자 |
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| 관련 출원번호 |
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| 심사청구여부/일자 |
N
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| 심사청구항수 |
1 |
