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이트리아를 포함하는 소결 재료를 준비하는 단계;상기 소결 재료를 소결하는 단계;상기 소결된 소결 재료를 열간 정수압(HIP) 처리하는 단계; 및 상기 열간 정수압 처리된 소결 재료를 산소 가스 포함 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스 분압은 20 kPa 내지 25 kPa 인 것이고,상기 열처리하는 단계의 산소 가스 포함 분위기는, 챔버 내부 압력을 1 atm 이하로 형성한 후 산소 가스를 주입하여 형성하는 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스의 분압은 22
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제1항에 있어서,상기 열처리하는 단계는 900 ℃ 내지 1100 ℃ 의 온도 조건에서 10 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소결 재료를 준비하는 단계는, 이트리아 분말 및 지르코니아 분말을 수계 기반 조건에서 배합하는 단계;배합된 재료를 분산시키는 단계; 및분산된 분말을 분무 건조(spray drying)하는 단계;를 포함하는 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 소결 재료는, 투명 다결정 이트리아를 포함하고, 란타넘족 원소, 전이금속 산화물 또는 둘 다를 포함하는 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 소결 재료의 지르코니아의 몰분율은 2 mol% 내지 6 mol% 인 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 이트리아 분말의 입자 크기는 40 nm 내지 60 nm 이고,상기 지르코니아 분말의 입자 크기는 15 nm 내지 35 nm 인 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소결 재료를 소결하는 단계는, 상압 및 1600 ℃ 내지 1800 ℃ 온도 조건에서, 5 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소결 재료를 소결하는 단계는 승온 과정 및 냉각 과정을 포함하고,승온 과정의 승온 속도는 0
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제1항에 있어서, 상기 열간 정수압 처리하는 단계는,비활성 가스 분위기에서 3 시간 내지 5 시간 동안 150 MPa 내지 200 MPa 압력으로 수행되는 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열간 정수압 처리하는 단계의 온도 조건은, 상기 소결 재료를 소결하는 단계의 온도 조건보다 평균 50 ℃ 이상 낮은 것인,이트리아 소결체의 제조방법
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제1항, 제2항, 제4항 내지 제12항 중 어느 한 항의 제조방법을 이용하여 제조된 것이고,이트리아 이론밀도를 기준으로 99 % 이상의 상대밀도를 가지는 것인, 이트리아 소결체
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제13항에 있어서, 상기 이트리아 소결체의 면적은 2500 mm2 이상이고, 두께는 5 mm 이상인 것인,이트리아 소결체
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