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제1 LTCC 층을 형성하는 단계;상기 제1 LTCC 층 상에 히터층을 형성하는 단계;상기 히터층 상에 제2 LTCC 층을 형성하는 단계;상기 제1 LTCC 층 하부 및 상기 제2 LTCC 층 상부에 알루미나 그린시트를 각각 형성하는 단계; 상기 알루미나 그린시트, 제1 LTCC 층, 제2 LTCC 층 및 히터층을 포함하는 구조체를 소성하는 단계;상기 알루미나 그린시트를 제거하는 단계;상기 소성된 제2 LTCC 층상에 감지전극을 형성하는 단계; 및상기 감지전극 상에, 검출 대상에 따라 감지전극 사이의 저항값을 변화시키는 감지물질을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 알루미나 그린시트는, z축 방향으로만 수축이 진행되고, x축 및 y축은 수축되지 않는 것이고,상기 제1 LTCC 층을 형성하는 단계는, 소성되지 않은 상태의 LTCC용 세라믹 기판인 그린시트를 캐스팅하는 단계 및 블랭킹하는 단계를 포함하고,상기 그린시트를 캐스팅하는 단계는, LTCC 파우더, 용매, 바인더 및 분산제를 포함하는 슬러리를 이용하여 테이프 캐스팅하는 것이고,상기 블랭킹하는 단계는, 상기 테이프 캐스팅에 의한 그린 테이프를 블랭크(blanks)로 잘라내 캐스팅 방향에 수직방향과 수평방향으로 블랭크를 각각 90° 로 교번하여 적층하는 것이고,상기 구조체를 소성하는 단계는, 상기 알루미나 그린시트, 제1 LTCC 층, 제2 LTCC 층 및 히터층을, 625 ℃ 이상 800 ℃ 미만의 온도에서 7 psi 내지 70 psi의 압력으로 라미네이션 한 후, 850 ℃ 내지 900 ℃에서 소성하는 것이고,상기 감지물질은, InGaZnO, CuAlO2, SrCu2O2, Cu2O, CuCrO2, ZnIr2O4, NiO, CuO 및 PdO로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 것인,LTCC를 이용한 유해가스 감지센서의 제조방법
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