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고정된 제1 콜리메이터; 및상기 제1 콜리메이터에 탈부착 가능하고, 테스트 반도체 시료를 부착하여 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 제2 콜리메이터를 포함하며,상기 제2 콜리메이터는스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지하고,상기 제2 콜리메이터는상기 제2 콜리메이터의 이동을 통해 방사선이 조사되는 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치를 조절하며,상기 제2 콜리메이터와 연결되는 상기 스페이서의 길이 및 위치는상기 반도체 시료가 부착되는 위치, 상기 방사선이 조사되는 특정 위치, 상기 제2 콜리메이터의 종류 및 상기 반도체 시료의 종류에 의해 결정되고,상기 제2 콜리메이터는원격으로 상하 또는 좌우의 위치 조절이 가능한 액츄에이터에 의해 상하 또는 좌우로 위치가 조절되며, 상기 반도체 시료 및 상기 제2 콜리메이터의 식별 정보에 기초하여 상기 반도체 시료를 구성하는 각 소자들에 상기 방사선을 조사하기 위한 상기 제2 콜리메이터의 위치 이동이 원격에서 자동적으로 수행되는 콜리메이터 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 콜리메이터는상기 테스트 반도체 시료에 따라 상기 테스트 반도체 시료에 대응하는 콜리메이터로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 콜리메이터 장치
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고정된 제1 콜리메이터에 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하는 단계; 및상기 테스트 반도체 시료가 부착된 제2 콜리메이터를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 단계를 포함하고,상기 테스트 반도체 시료를 부착하는 단계는스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지하고,상기 방사선을 국부적으로 조사하는 단계는상기 제2 콜리메이터의 이동을 통해 방사선이 조사되는 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치를 조절하며,상기 제2 콜리메이터와 연결되는 상기 스페이서의 길이 및 위치는상기 반도체 시료가 부착되는 위치, 상기 방사선이 조사되는 특정 위치, 상기 제2 콜리메이터의 종류 및 상기 반도체 시료의 종류에 의해 결정되고,상기 방사선을 국부적으로 조사하는 단계는원격으로 상하 또는 좌우의 위치 조절이 가능한 액츄에이터에 의해 상하 또는 좌우로 위치가 조절되며, 상기 반도체 시료 및 상기 제2 콜리메이터의 식별 정보에 기초하여 상기 반도체 시료를 구성하는 각 소자들에 상기 방사선을 조사하기 위한 상기 제2 콜리메이터의 위치 이동이 원격에서 자동적으로 수행되는 방사선 조사 방법
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제5항에 있어서,상기 제2 콜리메이터는상기 테스트 반도체 시료에 따라 상기 테스트 반도체 시료에 대응하는 콜리메이터로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 방사선 조사 방법
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