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금속 필름 위에 나노 입자를 고밀도로 조립시켜 대면적으로 나노갭이 존재하는 플라즈모닉 기판을 제조하는 방법 및 이에 따라 얻어진 플라즈모닉 기판

  • 기술번호 : KST2019017468
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼 상에 금속 나노 필름을 형성하고, 상기 금속 나노 필름 상에 절연 물질 스페이서를 형성하여 기판을 제조한 후, 물-공기 계면에 단일층의 금속 나노 입자를 자기 조립 시키고, 상기 기판에 자기 조립된 금속 나노 입자 층을 전이시켜 고밀도 및 대면적 나노갭을 가지는 플라즈모닉 SERS 기판을 용이하게 제조할 수 있다.
Int. CL G01N 21/65 (2006.01.01) G02B 5/00 (2006.01.01)
CPC G01N 21/658(2013.01) G01N 21/658(2013.01)
출원번호/일자 1020180024005 (2018.02.27)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0102914 (2019.09.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강태욱 대한민국 서울특별시 마포구
2 김연지 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최우성 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, *층 (수송동, 석탄회관빌딩)(케이씨엘특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0204281-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
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번호 청구항
1 1
웨이퍼 상에 금속 나노 필름을 형성하고, 상기 금속 나노 필름상에 절연 물질 스페이서를 형성하여 기판을 제조하는 제 1 단계; 및 물-공기 계면에 단일층의 금속 나노 입자를 자기 조립시키고, 상기 제 1 단계에서 얻어진 기판에 자기 조립된 금속 나노 입자 층을 전이시키는 제 2 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 및 대면적 나노갭을 가지는 플라즈모닉 SERS 기판 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 방법,
3 3
제 1 항에 있어서,상기 금속 나노 필름의 금속은 플라즈모닉 성질을 나타내는 금속인 것을 특징으로 하는 방법,
4 4
제 3 항에 있어서,상기 금속 나노 필름 두께는 100-200nm인 것을 특징으로 하는 방법,
5 5
제 1 항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 플라즈모닉 성질을 나타내는 금속인것을 특징으로 하는 방법,
6 6
제 5 항에 있어서,상기 나노 입자는 10-200 nm의 크기인 것을 특징으로 하는 방법,
7 7
제 1 항에 있어서,상기 금속 나노 입자와 금속 나노 입자 사이에 나노 갭이 형성되고, 상기 금속 나노 입자와 금속 나노 필름 사이에 나노 갭이 형성되는 것을 특징으로 하는 방법,
8 8
제 1 항에 있어서,상기 스페이서는 실리카 또는 고분자 코팅층 또는 리피드 층인 것을 특징으로 하는 방법,
9 9
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조된 고밀도 및 대면적 나노 갭을 가지는 플라즈모닉 SERS 기판으로서, 웨이퍼; 상기 웨이퍼 상의 금속 나노 필름; 상기 금속 나노 필름 상의 절연 물질 스페이서; 및 상기 스페이서 상에 전이된 자기 조립된 금속 나노 입자 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 및 대면적 나노갭을 가지는 플라즈모닉 SERS 기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 서강대학교 개인기초연구(미래부) 프로그래밍 기법을 이용한 자기조립체 기반 차세대 플라스모닉 복합 나노구조체 개발 및 응용
2 교육부 서강대학교 이공학학술연구기반구축 바이오융합기술연구소