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쌍정결함밀도의 평가방법

  • 기술번호 : KST2019017510
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고가의 복잡한 장비를 사용하지 않더라도, 비숙련자에 의해서도 표준화된 방법에 의해 대면적 단결정 시료 중 쌍정결함밀도를 정량적으로 평가할 수 있는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 단결정 시료 중 쌍정결함밀도를 평가하는 방법에 있어서, (A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계; (B) 쌍정결함에 의한 바 형태의 에치핏을 선별하는 단계; 및 (C) 상기 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이로부터 하기 수식에 의해 쌍정결함밀도를 평가하는 단계, 쌍정결함밀도 = ∑kx'i/시료의 면적, 이때, 2≤k≤3이고, x'i는 i번째 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 21/95 (2006.01.01) G01B 11/22 (2006.01.01) G02B 21/00 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01)
CPC G01N 21/9505(2013.01) G01N 21/9505(2013.01) G01N 21/9505(2013.01) G01N 21/9505(2013.01) G01N 21/9505(2013.01) G01N 21/9505(2013.01)
출원번호/일자 1020190040362 (2019.04.05)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2012809-0000 (2019.08.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍순구 세종특별자치시 남세종로 *,
2 고시찹 대전광역시 유성구
3 르뒤덕 대전광역시 유성구
4 이정국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0353106-80
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2019.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0359011-81
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.04.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2019-0021080-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0368782-11
6 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2019.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0580457-58
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0580450-39
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0577335-62
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번호 청구항
1 1
단결정 시료 중 쌍정결함밀도를 평가하는 방법에 있어서,(A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계;(B) 쌍정결함에 의한 에치핏을 선별하는 단계; 및(C) 상기 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이로부터 하기 수식에 의해 쌍정결함밀도를 평가하는 단계,쌍정결함밀도 = ∑kx'i/시료의 면적(이때, 2≤k≤3이고, x'i는 i번째 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이);를 포함하는 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 (B) 단계의 쌍정결함에 의한 에치핏은,바 형태로 에칭시간의 경과에 따라 단축방향 길이인 폭은 증가하나, 장축방향 길이는 변하지 않는 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 단결정 시료가 기판인 경우에는 k=2이며, 박막인 경우에는 k=3인 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 단결정 시료는 산화갈륨 단결정 또는 산화갈륨 단결정 박막인 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 산화갈륨 단결정 박막은 산화갈륨(-201) 단결정 기판 상에 형성된 에피층인 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향은 [010] 방향인 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)유제이엘 소재부품기술개발사업(전략적핵심소재기술개발사업) 저결함(〈1x104cm-2)특성의 고품위 Ga2O3 에피소재 및 1KV 이상의 항복전압을 가지는 전력소자 기술 개발